一、?明確測試需求?
1.?樣品尺寸與類型?:確定待測晶圓或器件的zui大尺寸(如2~12英寸)及是否需要測試破片或單顆芯片。
若涉及高壓、高頻或低溫測試,需選擇對應(yīng)專用探針臺(如高壓探針臺需匹配高電壓承受能力)。
2.?測試精度要求?:關(guān)注探針臺的機械精度(如X/Y軸移動分辨率、重復性)和電學精度(如低至fA ji電流或0.1pF電容測試能力)。
3.?探針配置?:根據(jù)電極尺寸(如60μm×60μm)選擇探針類型(直流、射頻、微波探針)及數(shù)量(*多可搭載6個探針臂)。
二、?顯微鏡與光學需求?
1.?顯微鏡分辨率?:需匹配測試需求,例如微小電極或IC內(nèi)部線路需高分辨率顯微鏡(如金相顯微鏡)。
2.?特殊光學功能?:若需檢測液晶熱點(LC)或材料微觀結(jié)構(gòu),需支持偏光片或特殊光學模塊。
三、?測試環(huán)境適配?
1.?溫度控制?:根據(jù)需求選擇溫度范圍(如室溫、4K~800K真空環(huán)境),并確認是否需要密閉腔體。
2.?磁場與真空?:特殊測試(如量子器件)需磁場環(huán)境(永磁鐵或電磁鐵)或真空系統(tǒng)。
3.?高壓/大電流環(huán)境?:高壓測試需專用探針臺(含高壓電源和保護措施),普通探針臺僅支持常規(guī)電參數(shù)測試。
四、?性能與兼容性?
1.?機械穩(wěn)定性?:優(yōu)先選擇高精度傳感器、低振動設(shè)計及抗干擾能力強的設(shè)備。
2.?系統(tǒng)兼容性?:確保探針臺與其他測試設(shè)備(如源表、示波器)的接口協(xié)議兼容,便于構(gòu)建完整測試系統(tǒng)。
五、?品牌與服務(wù)支持?
1.?品牌信譽與性價比?:優(yōu)先選擇國產(chǎn)zhi ming pin牌(兼具價格競爭力和技術(shù)實力),并通過客戶反饋評估實際性能。
2.?售后服務(wù)?:考察廠商的技術(shù)支持響應(yīng)速度、備件供應(yīng)能力及培訓服務(wù),確保chang期使用無憂。
六、?其他關(guān)鍵因素?
1.?實驗室條件?:考慮設(shè)備尺寸與實驗室空間、電源接口等硬件條件匹配性。
2.?操作便捷性?:選擇自動化程度高(如半自動/全自動)且操作界面友好的設(shè)備,減少人為誤差。
通過綜合以上維度,可系統(tǒng)評估探針臺的適用性,確保其滿足測試需求、環(huán)境適配及chang期使用穩(wěn)定性。
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