ITO薄膜（Indium Tin Oxide，氧化銦錫）是一種透明導(dǎo)電氧化物（TCO）薄膜，由氧化銦（In?O?）和氧化錫（SnO?）按一定比例（90%In?O?和10%SnO?）混合制成，兼具高透光性和優(yōu)良導(dǎo)電性，因其優(yōu)異特性在各行業(yè)都有著廣泛應(yīng)用。

一、ITO薄膜的核心特性

1、光學(xué)特性——高透明度

• 可見光透光率（85%-95%）：通過優(yōu)化濺射工藝，可減少光散射和吸收，使其接近玻璃的透光率。

• 紫外-紅外調(diào)控能力：對紫外光有著強吸收性能，可用于抗紫外線涂層；其紅外反射率可調(diào)控，適用于節(jié)能建筑玻璃。

2、電學(xué)特性——優(yōu)良導(dǎo)電性

• 低電阻率（10??~10?3 Ω·cm）：載流子濃度高——1021 cm?3級，源于Sn??摻雜In?O?形成的氧空位和自由電子。其方阻范圍在5-100 Ω/sq（薄膜厚度50-300nm時），滿足多數(shù)電子器件需求。

• 導(dǎo)電機制：導(dǎo)帶電子為主要載流子，遷移率可達30-50 cm2/(V·s)。

3、化學(xué)穩(wěn)定性

• 耐腐蝕性：在常溫下對水、有機溶劑穩(wěn)定。

• 熱穩(wěn)定性：空氣中可耐受300-400℃高溫。

• 附著力強：與玻璃、PET基材的結(jié)合力優(yōu)異（在表面預(yù)處理的前提下）。

4、機械性能

• 硬度高但脆性大：莫氏硬度6~7，耐磨性好，但彎曲半徑＜5mm時易開裂，制約柔性應(yīng)用。

• 可加工性強：可以通過光刻、激光蝕刻來制備微米級圖案（分辨率~10μm）。

二、ITO薄膜的行業(yè)應(yīng)用

1、光伏能源

ITO薄膜作為透明材料電極，在異質(zhì)結(jié)太陽能電池中，可以優(yōu)化光的吸收和電荷傳輸，以此提升光電轉(zhuǎn)換效率。此外，ITO薄膜的導(dǎo)電透光特性也影響著鈣鈦礦電池和CIGS薄膜電池的轉(zhuǎn)換效率。

2、顯示面板

ITO薄膜憑借高透光率85%-95%（接近玻璃的透光率），以及其低電阻率（10??~10?3 Ω·cm），成為LCD、OLED、觸摸屏的關(guān)鍵材料，其廣泛應(yīng)用在智能手機、平板電腦、電子白板等設(shè)備。

3、智能調(diào)光

憑借其ITO薄膜的高透光性和導(dǎo)電性，通過電場調(diào)節(jié)透光率，可以實現(xiàn)動態(tài)節(jié)能與遮陽，應(yīng)用于綠色節(jié)能建筑和汽車玻璃。

4、新興行業(yè)應(yīng)用

目前，ITO薄膜在AR/VR光學(xué)器件、醫(yī)療檢測傳感器等多個新興行業(yè)中嶄露頭角，未來或?qū)⒃诟嘈驴萍紙鼍爸邪l(fā)揮重要作用。

三、ITO薄膜的表面粗糙度與厚度把控的重要性

1、表面粗糙度

ITO表面粗糙度影響其電學(xué)性能、光學(xué)性能與器件可靠性。

若表面粗糙度過大，會降低載流子注入效率、影響光散射、降低透光率等等，甚至?xí)?dǎo)致后續(xù)鍍膜（如SiO?保護層）出現(xiàn)針孔或剝離。

優(yōu)可測白光干涉儀AM-7000系列，可以精準(zhǔn)測量ITO薄膜的表面粗糙度，精度高達亞納米級，實現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量與性能的把控，減少客訴。

2、厚度

ITO薄膜厚度影響其電學(xué)性能、光學(xué)性能以及工藝成本。

• 不同厚度的ITO薄膜，其方阻大小不一，需要根據(jù)實際需求調(diào)控薄膜厚度；

• 厚度影響光程差，且厚度不均會導(dǎo)致可見光波段透光率曲線偏移；

• 在性能需求范圍下適當(dāng)減小薄膜厚度，減少成本。厚度每降低10nm，可減少約15%的銦用量，對成本敏感的大面積光伏應(yīng)用尤為重要。

優(yōu)可測薄膜厚度測量儀AF-3000系列，亞納米級精度測量ITO薄膜厚度，可適應(yīng)離線、在線等多種測量場景，單點測量速度＜0.5s（包括運動時間）。