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DSR旋轉圓盤電極在半導體材料碳化硅電沉積研究應用介紹

來源:理化有限公司   2025年04月08日 16:18  

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碳化硅(SiC)是一種半導體材料,是目前晶體生產技術和器件制造領域應用廣泛的材料,具有更高的擊穿電場強度、載流子飽和漂移速率、熱導率和熱穩(wěn)定性特點,可顯著降低電子設備能耗,被譽為“綠色半導體材料”。


近年來,圍繞SiC/SiC復合材料相關研究非?;馃?,通過旋轉圓盤電極(RDE)技術展開電沉積Ni-SiC 復合鍍層性能測試備受關注。

電沉積是研究金屬或合金從其化合物水溶液、非水溶液或熔鹽中電化學沉積的過程。在研究中,我們可以通過DSR數(shù)字型旋轉圓盤圓環(huán)電極裝置展開相關實驗研究。


電沉積實驗是如何進行的呢?舉個例子來了解下。

* 溶液的成分以及電沉積的操作參數(shù),制備鍍液時使用了分析純試劑和蒸餾水。


1、在沉積之前,碳化硅(SiC)顆粒需在蒸餾水中分散 24 小時(因為碳化硅納米顆粒具有疏水性,需要一定時間來使碳化硅納米顆粒的表面水化)。


2、然后,將碳化硅漿料添加到電解液中。圓盤狀陰極由銅制成,直徑為 15 毫米,厚度為 1 毫米,將其插入聚四氟乙烯(PTFE)旋轉圓盤電極(RDE)夾具中,露出一個直徑 15 毫米的圓形窗口與電解液接觸。


3、在旋轉圓盤電極電解池中,陰極與陽極呈水平對齊放置,陰/陽極之間的距離為2厘米。


4、使用飽和甘汞電極和一個20毫米×20毫米的純鉑對電極。參比電極放置在與主電解池分隔開的玻璃臂中,對電極則盡可能放置在離陰極較遠的位置,以免干擾流向電極的電流的均勻性或電極表面的顆粒分布。


5、每次實驗前,陰極需依次在乙醇、丙酮和蒸餾水中各超聲清洗10分鐘。


6、在由鹽酸(HCI):硫酸(HzSO4):硝酸(HNO3):水(H20) 按3:10:5:2的比例配成的溶液中活化30秒,用蒸餾水沖洗后,立即浸入鍍液中(在電沉積過程開始前,鍍液需用超聲波均質儀超聲處理10分鐘),采用電化學工作站進行電化學研究,以便電沉積得到目標復合涂層。在電沉積過程開始前,鍍液需用超聲波均質儀超聲處理10分鐘,采用電化學工作站進行電化學研究。


復合涂層的表面形貌通過掃描電子顯微鏡(SEM)進行觀察,T掃描電鏡操作電壓為30千伏。表面粗糙度使用觸針式儀器進行測量。


沉積物的化學成分通過安裝在掃描電鏡上的能量色散X射線光譜儀系統(tǒng)來確定。 


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在表1所述的條件下,使用20克/升的碳化硅(SiC),旋轉圓盤電極(RDE)轉速為600轉/分鐘,電沉積制備了鎳-碳化硅復合涂層。


在本研究中采用的旋轉圓盤電極(RDE)轉速是經(jīng)過前人充分研究中得出的最佳旋轉圓盤電極轉速。在旋轉圓盤電極體系中,通過溶液流體動力學,電極的旋轉能夠使陰極區(qū)域富集顆粒。


在脈沖電流條件下,在旋轉圓盤電極上制備了鎳/碳化硅復合鍍層。研究了脈沖參數(shù)、電流密度、電解液中SiC含量對SiC電沉積的影響。


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DSR數(shù)字型旋轉圓盤圓環(huán)電極裝置是理化公司為用戶提供的精良好用的電化學儀器,廣泛應用于氫燃料電池催化劑研究評價等各類電化學實驗,產品具有“數(shù)字型、一體化、更靜音”特點,基于新一代數(shù)字技術,轉速更精準,測試更可靠,圖譜表現(xiàn)優(yōu)異,已有多位用戶使用DSR進行實驗,并發(fā)表多篇中科院一區(qū)期刊論文,助力電化學實驗。



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