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MOTT過濾器POU-015-S強(qiáng)度和可靠性

來源:南京惠言達(dá)電氣有限公司   2025年03月28日 08:36  

60多年來,莫特公司橫跨全球多個(gè)行業(yè),為世界上大的技術(shù)品牌解決了高度復(fù)雜的過濾和流量控制問題。

作為一個(gè)在所有市場(chǎng)提供服務(wù)、定制產(chǎn)品的過濾品牌,我們癡迷于設(shè)計(jì)過濾器和流體流動(dòng)產(chǎn)品。

我們將數(shù)千種應(yīng)用的設(shè)計(jì)專業(yè)知識(shí)與技術(shù)的力量相結(jié)合,為您打造高度工程化的產(chǎn)品。

主要產(chǎn)品:

工藝過濾器、滑車和元件

清潔供水系統(tǒng)

濾光盒

高純度過濾器和部件

過濾器組件和多孔部件

玻璃組件和實(shí)驗(yàn)室過濾器

工業(yè)氣體流量限制器

工業(yè)火花系統(tǒng)

氣體擴(kuò)散和輸送層

阻燃劑產(chǎn)品

燒結(jié)多孔細(xì)絲

3D印刷品

流體攪拌器

熱管理熱管

除濕器和鼻煙器

主要型號(hào):

POU-015-S、FCC/RFA、GSP515H3FF33、6200 系列、POU-05-ST1、GSG-V5-1-2N、POU-015-SV3-050、GSMM-50-010-33、GSP11215H3FF33、23058MA-020、GXP315FF33

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莫特高純氣體過濾器可對(duì)低至0.0015μm的顆粒進(jìn)行9對(duì)數(shù)過濾,從而產(chǎn)生無顆粒氣體。為了大限度地提高氣體過濾效率、強(qiáng)度和可靠性,GasShield POU全金屬氣體過濾器是超高純(UHP)氣體輸送應(yīng)用的理想選擇。它們與大多數(shù)高純度電子級(jí)工藝氣體兼容。

性能特點(diǎn)

不銹鋼過濾介質(zhì)

技術(shù)參數(shù)

  • 操作條件:

max工作壓力:3750 psig(258.5 barg)

惰性氣體的highest工作溫度:450°C

max壓差:1000磅/平方英寸(68.9巴)

  • 材料:

五金件:316L SS

過濾介質(zhì):316L SS

潤濕硬件表面光潔度:5 Ra,電拋光

  • 過濾器效率(對(duì)數(shù)折減值):

≥9 LRV(顆粒減少99.9999999%)。

根據(jù)SEMI F38-0699測(cè)試方法,確定最大穿透粒度為0.08μm

  • 顆粒去除尺寸:≥0.0015μm

  • 氦氣泄漏等級(jí):1 x 10-9 atm cc/sec

  • 水分貢獻(xiàn):根據(jù)SEMI F27測(cè)試方法,在低流量環(huán)境吹掃下1小時(shí)后<10 ppb

  • 總碳?xì)浠衔铮旱陀赟EMASPEC 90120396B測(cè)試方法的可檢測(cè)限值

  • 顆粒脫落:根據(jù)SEMI F43-0308試驗(yàn)方法,背景以上的顆粒貢獻(xiàn)為零(<1顆粒/ft3)

  • 產(chǎn)地:美國


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