60多年來,莫特公司橫跨全球多個(gè)行業(yè),為世界上大的技術(shù)品牌解決了高度復(fù)雜的過濾和流量控制問題。
作為一個(gè)在所有市場(chǎng)提供服務(wù)、定制產(chǎn)品的過濾品牌,我們癡迷于設(shè)計(jì)過濾器和流體流動(dòng)產(chǎn)品。
我們將數(shù)千種應(yīng)用的設(shè)計(jì)專業(yè)知識(shí)與技術(shù)的力量相結(jié)合,為您打造高度工程化的產(chǎn)品。
主要產(chǎn)品:
工藝過濾器、滑車和元件
清潔供水系統(tǒng)
濾光盒
高純度過濾器和部件
過濾器組件和多孔部件
玻璃組件和實(shí)驗(yàn)室過濾器
工業(yè)氣體流量限制器
工業(yè)火花系統(tǒng)
氣體擴(kuò)散和輸送層
阻燃劑產(chǎn)品
燒結(jié)多孔細(xì)絲
3D印刷品
流體攪拌器
熱管理熱管
除濕器和鼻煙器
主要型號(hào):
POU-015-S、FCC/RFA、GSP515H3FF33、6200 系列、POU-05-ST1、GSG-V5-1-2N、POU-015-SV3-050、GSMM-50-010-33、GSP11215H3FF33、23058MA-020、GXP315FF33
莫特高純氣體過濾器可對(duì)低至0.0015μm的顆粒進(jìn)行9對(duì)數(shù)過濾,從而產(chǎn)生無顆粒氣體。為了大限度地提高氣體過濾效率、強(qiáng)度和可靠性,GasShield POU全金屬氣體過濾器是超高純(UHP)氣體輸送應(yīng)用的理想選擇。它們與大多數(shù)高純度電子級(jí)工藝氣體兼容。
性能特點(diǎn)
不銹鋼過濾介質(zhì)
技術(shù)參數(shù)
操作條件:
max工作壓力:3750 psig(258.5 barg)
惰性氣體的highest工作溫度:450°C
max壓差:1000磅/平方英寸(68.9巴)
材料:
五金件:316L SS
過濾介質(zhì):316L SS
潤濕硬件表面光潔度:5 Ra,電拋光
過濾器效率(對(duì)數(shù)折減值):
≥9 LRV(顆粒減少99.9999999%)。
根據(jù)SEMI F38-0699測(cè)試方法,確定最大穿透粒度為0.08μm
顆粒去除尺寸:≥0.0015μm
氦氣泄漏等級(jí):1 x 10-9 atm cc/sec
水分貢獻(xiàn):根據(jù)SEMI F27測(cè)試方法,在低流量環(huán)境吹掃下1小時(shí)后<10 ppb
總碳?xì)浠衔铮旱陀赟EMASPEC 90120396B測(cè)試方法的可檢測(cè)限值
顆粒脫落:根據(jù)SEMI F43-0308試驗(yàn)方法,背景以上的顆粒貢獻(xiàn)為零(<1顆粒/ft3)
產(chǎn)地:美國
相關(guān)產(chǎn)品
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