實驗名稱:半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的封裝測試
研究方向:半掩埋光波導(dǎo)諧振腔耦合完成以后,為保護器件,防止灰塵等雜質(zhì)污染刻槽區(qū)域以及做實驗過程中移動器件可能帶來的耦合處接口松動,需要對器件進行封裝。
測試設(shè)備:高壓放大器、信號發(fā)生器、示波器、光電探測器、窄線寬半導(dǎo)體激光器等。
實驗過程:

圖1:半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的測試系統(tǒng)圖
使用窄線寬半導(dǎo)體激光器進行半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的性能測試。測試系統(tǒng)如圖1所示,主要包括:窄線寬半導(dǎo)體激光器、信號發(fā)生器、高壓放大器、半掩埋光波導(dǎo)諧振腔、光電探測器和示波器。窄線寬半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光波長為1550nm,具有波長調(diào)諧的功能。信號發(fā)生器用于產(chǎn)生對激光器波長進行調(diào)諧的掃描信號,高壓放大器用于對信號發(fā)生器輸出的掃描信號進行增益和偏置的調(diào)節(jié),以滿足諧振腔諧振頻率在激光器調(diào)諧范圍內(nèi)。信號發(fā)生器輸出給高壓放大器,高壓放大器輸出給激光器,激光器的波長可調(diào)諧范圍為20pm。激光器發(fā)出的調(diào)諧波長的光經(jīng)光纖進入半掩埋光波導(dǎo)諧振腔,滿足諧振條件的波長的光在諧振腔中諧振,半掩埋光波導(dǎo)諧振腔輸出的光進入光電探測器中進行光信號到電信號的轉(zhuǎn)換,然后顯示在示波器上。測試得到的半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的諧振曲線如圖2所示。

圖2:半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的測試曲線
實驗結(jié)果:
圖2中黃色曲線為正弦波掃描曲線,紫色曲線為半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的諧振曲線。使用示波器的光標(biāo)工具可以進行諧振曲線半高全寬的測量。圖4-8所示為半高全寬處所對應(yīng)的電壓差值,為43.19mV,根據(jù)激光器的調(diào)諧系數(shù)可以計算得出半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的半高全寬為64.79MHz。因此,半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的品質(zhì)因子為2.99×106。
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