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原裝供應(yīng)Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復(fù)合分子泵TG1300M

來(lái)源:北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司   2025年03月21日 09:35  
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■ 靈活的安裝姿勢(shì) ■ 緊湊的尺寸 ■ 節(jié)能 ■ 快速啟動(dòng)和停止 ■ 維修電話 ■ 低振動(dòng) ■ 免調(diào)音 ■ 自動(dòng)校準(zhǔn) ■ 轉(zhuǎn)速控制 ■ 大流量排氣 ■ 各種通信規(guī)格 ■符合安全標(biāo)準(zhǔn) NRTL/SEMI-S2/CE ?半導(dǎo)體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測(cè)設(shè)備 ?管材、光學(xué)元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā)



進(jìn)氣法蘭VG200
CF200
ISO-B200 型
抽速N2 (升/秒)1300
N2(帶保護(hù)網(wǎng)) (升/秒)1230
H2 (升/秒)1200
最大壓縮比N21×108 
H21,5×10%4 
極限壓力VG/ISO-B/CF (帕)<1×10-6 / <1×10-7 
VG?ISO-B/CF (托)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流速※1N2 (SCCM)3000
啟動(dòng)時(shí)間(分鐘)4~5
停機(jī)時(shí)間(分鐘)4~5
允許的輔助壓力(Pa / Torr)500 / 3.8 
推薦的輔助泵(升/分鐘)≧250
安裝姿勢(shì)自由
重量 (kg) VG/ISO-B/CF34 / 42 
控制器類(lèi)型TC010MA
特殊規(guī)格

-化學(xué)型
- 對(duì)應(yīng)反應(yīng)產(chǎn)物 TG-MI
- 超低振動(dòng)規(guī)格 TG-ML
- 超高真空型 TG-MU
- 耐輻射型 TG-MR


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