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這里就目前主流的形狀測(cè)量機(jī)——接觸式形狀測(cè)量機(jī)的原理進(jìn)行說(shuō)明。接觸式形狀測(cè)量機(jī)通過(guò)測(cè)量水平移動(dòng)的檢測(cè)器的位移和安裝在檢測(cè)器上的觸針的垂直移動(dòng)來(lái)繪制被測(cè)物體的輪廓形狀。
在移動(dòng)觸針的同時(shí),通過(guò)在間距約為 0.001 毫米的數(shù)字刻度上連續(xù)繪制觸針?biāo)揭苿?dòng)的 X 坐標(biāo)和上下位置的 Y 坐標(biāo)來(lái)描繪輪廓形狀。
許多形狀測(cè)量機(jī)上觸針的上下運(yùn)動(dòng)是繞著稱(chēng)為樞軸的中心軸的弧形運(yùn)動(dòng)。因此,測(cè)針從水平位置向上或向下移動(dòng)的幅度越大,由于弧線(xiàn)而產(chǎn)生的水平誤差就越大。必須檢測(cè)觸針尖的位置,同時(shí)不斷補(bǔ)償此誤差。
此外,觸針Jian端繼續(xù)與被測(cè)物體接觸,造成觸針磨損。隨著觸針的磨損,觸針尖的位置會(huì)根據(jù)磨損的程度而改變。需要定期檢查觸針尖頭的形狀,并根據(jù)磨損量進(jìn)行修正。
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