激光面型干涉儀和白光干涉儀都是基于干涉原理的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，但它們?cè)诠庠?、干涉條紋、測(cè)量范圍、穩(wěn)定性以及應(yīng)用領(lǐng)域等方面存在顯著的差異。以下是對(duì)這兩種儀器的詳細(xì)比較：

一、光源

激光面型干涉儀：通常采用單頻、穩(wěn)定輸出的激光器作為光源，如氦氖激光器，提供連續(xù)且波長(zhǎng)已知的激光束。

白光干涉儀：使用白色光源，白光屬于多色光，具有連續(xù)的光譜。

二、干涉條紋

激光面型干涉儀：由于激光的單色性好，相干性強(qiáng)，因此干涉時(shí)主要形成黑白的干涉條紋。

白光干涉儀：由于光源包含多種波長(zhǎng)的光波，干涉時(shí)會(huì)形成彩色的干涉條紋。

三、測(cè)量范圍與精度

激光面型干涉儀：激光具有高強(qiáng)度和相干性好的特點(diǎn)，因此激光面型干涉儀可以用于高精度的微小尺寸測(cè)量，如納米級(jí)的薄膜厚度測(cè)量和平面度測(cè)量。

白光干涉儀：白光干涉儀則更加適合于表面形貌的大范圍測(cè)量，如飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的表面形貌測(cè)量、飛機(jī)機(jī)身的表面平整度檢測(cè)等。同時(shí)，白光干涉儀也能提供較高的測(cè)量精度，但相對(duì)于激光面型干涉儀，其測(cè)量范圍更廣。

四、穩(wěn)定性

激光面型干涉儀：激光干涉儀在干涉時(shí)需要保持激光光源的穩(wěn)定性，以保證干涉條紋的清晰度。因此，激光面型干涉儀對(duì)光源的穩(wěn)定性要求較高。

白光干涉儀：相對(duì)于激光面型干涉儀，白光干涉儀對(duì)光源的穩(wěn)定性要求不那么嚴(yán)格。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

激光面型干涉儀：主要用于光學(xué)元件和平面的平面度、平整度、厚度、微小位移等精密幾何參數(shù)的測(cè)量。廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件制造業(yè)、精密機(jī)械加工、半導(dǎo)體工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域。

白光干涉儀：除了可以用于測(cè)量物體表面形貌、薄膜厚度等參數(shù)外，還可以用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究。如細(xì)胞及組織的三維重建、血液流動(dòng)速度的測(cè)量等。

綜上所述，激光面型干涉儀和白光干涉儀在光源、干涉條紋、測(cè)量范圍與精度、穩(wěn)定性以及應(yīng)用領(lǐng)域等方面存在顯著差異。選擇哪種儀器取決于具體的測(cè)量需求和應(yīng)用場(chǎng)景。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài) 微納級(jí)3D輪廓測(cè)量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)優(yōu)秀的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測(cè)量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測(cè)量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測(cè)振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測(cè)量。

實(shí)際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測(cè)量硅片表面粗糙度測(cè)量，Ra=0.7nm

2，毫米級(jí)視野，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3，優(yōu)秀的“高深寬比”測(cè)量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測(cè)量。