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等離子清洗機(jī)器增強(qiáng)晶圓鍵合強(qiáng)度

來源:煙臺(tái)金鷹科技有限公司   2025年02月26日 15:50  

等離子清洗機(jī)器用于大學(xué)實(shí)驗(yàn)室清洗實(shí)驗(yàn)工具、鞋底與鞋面粘接、汽車玻璃涂層膜清洗、經(jīng)等離子體清洗機(jī)處理后能使材料粘接更加牢固,如燈、玻璃、紡織、塑料印刷、光電材料或金屬等。

等離子清洗機(jī)器還能去除晶圓表面的金屬離子、氧化物等無機(jī)物,借助等離子體的轟擊可以使無機(jī)物與等離子體中的粒子發(fā)生反應(yīng)或直接被濺射掉,比如去除晶圓表面自然形成的氧化層,確保晶圓表面的純凈度。

等離子清洗去膠機(jī)器在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛應(yīng)用,可有效去除表面污染物和顆粒,有利于提高導(dǎo)線鍵的強(qiáng)度,減少芯片分層的發(fā)生,提高芯片本身的質(zhì)量和使用壽命,提高包裝產(chǎn)品的可靠性

專為半導(dǎo)體封裝和組裝 (ASPA)、晶圓級(jí)封裝 (WLP) 和微機(jī)電 (MEMS) 組裝的需求而設(shè)計(jì)等離子清洗機(jī)。通過使用合適的等離子處理技術(shù)可以改善或克服許多制造挑戰(zhàn),包括改善芯片附著、增加引線鍵合強(qiáng)度、消除倒裝芯片底部填充空隙以及減少封裝分層。

等離子清洗機(jī)器去除半導(dǎo)體/芯片/晶圓表面殘膠晶圓等離子清洗設(shè)備 對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)封裝清洗.晶圓,芯片倒裝表面活化,除膠,提高表面附著力.

plasma等離子清洗機(jī)器改善鍵合效果,在晶圓鍵合過程中,等離子清洗機(jī)器去除晶圓表面的污染物和氧化層,提高表面的清潔度和活性,改變表面微觀形態(tài),使其變得更加粗糙,增加表面能,提高晶圓表面的潤(rùn)濕性和粘附性。這些改變有助于增強(qiáng)晶圓之間的鍵合強(qiáng)度,減少鍵合過程中可能出現(xiàn)的空洞和缺陷,進(jìn)一步提高鍵合質(zhì)量。




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