適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年11月25日 10:47

適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析

這是配備光譜儀的標準型號，非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計?？梢赃M行非接觸式測量，因此您不必注意涂層工作表面。

它涵蓋了廣泛的測量波長和可測量的薄膜厚度。

可測量波長：380nm～1050nm
可測量膜厚：100nm～60μm

523a6804b0dc3265ac80081db910db86_thicknessmeter-350wri.jpg

反射分光膜厚計AFW-100W

反射分光式膜厚計測量原理

當光線照射在透明薄膜上時，在薄膜表面反射的光（R1）與在薄膜內(nèi)部折射并在基材表面反射的光（R2）重疊，導致光線增強或減弱。

這種現(xiàn)象稱為“光干涉” 。當光的相位匹配時，強度增加，而當相位偏移時，強度減小。

右圖是“光干涉”的圖像。 “反射分光膜厚計”是通過分析該光的干涉（波長）來測量膜厚的方法。

反射光譜膜厚測量原理

求使測量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

推薦在波紋數(shù)為3個以下時使用（膜厚約1μm）。

通過FFT計算確定某一波長寬度內(nèi)表示膜厚的干涉波形的數(shù)量，并由此導出一個周期的波長寬度。

建議在有3個或更多波紋時使用（膜厚約1μm）。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。