一、Z軸垂直精度相關(guān)概念

1、垂直分辨率：

測量表面高度差異時能夠分辨的最小高度變化量。

2、RMS重復(fù)性：

多組SiC晶圓片Rq的標(biāo)準(zhǔn)偏差，

一般取32組樣本值偏離其平均值的平均程度的一種度量；

3、臺階重復(fù)性：

多次測量相同臺階或類似微結(jié)構(gòu)時，得到的測量結(jié)果之間的一致性和穩(wěn)定性程度。

臺階重復(fù)性=1σ臺階高標(biāo)準(zhǔn)差/ Hˉ

·Hˉ 是樣本的平均值

4、臺階準(zhǔn)度：

多次測量相同臺階或類似微結(jié)構(gòu)時，得到的測量結(jié)果之間的平均值和真實值的偏差。

臺階準(zhǔn)度=|Hˉ -H_true|/H_true

·H_true是臺階真值

·Hˉ 是樣本的平均值

Z軸垂直精度的高低、取決于如下幾點：

1. 光路設(shè)計、鏡頭畸變率、鏡頭相差；

2. 光源的波長范圍和穩(wěn)定性；

3. 數(shù)據(jù)采集的裝置，例如納米級位移壓電陶瓷和微米級位移電機(jī)；

4. 采集和處理干涉條紋的圖像處理算法。

XY橫向精度相關(guān)概念

1、單視野時 XY橫向精度相關(guān)概念：

1-1相機(jī)像素

指的是相機(jī)傳感器上的像素數(shù)目，它決定了相機(jī)能夠捕捉到圖像中細(xì)節(jié)的數(shù)量和精度。每個像素代表圖像中的一個點，其顏色和亮度信息由相機(jī)傳感器捕捉和記錄。

1-2水平分辨率

指的是測量表面特征能夠分辨的最小特征尺寸。

越高光學(xué)放大倍率，意味著更高的分辨率，可以捕捉更多的細(xì)節(jié)和更清晰的圖像。

2、拼接視野時 XY橫向精度相關(guān)概念：

  拼接視野時，除了如上相機(jī)像素和水平分辨率外，引入了平臺移動的精度和圖像拼接精度。

2-1定位精度

指系統(tǒng)能夠?qū)y量或定位對象準(zhǔn)確地放置在期望位置的能力。通常用于描述系統(tǒng)在XY平面內(nèi)的位置偏差。

2-2重復(fù)定位精度

指系統(tǒng)在多次重復(fù)測量或定位中，測量結(jié)果在XY平面上的一致性和穩(wěn)定性。重復(fù)定位精度好的系統(tǒng)能夠在不同時間和條件下準(zhǔn)確地重復(fù)相同的測量或定位。

• 好的定位精度&重復(fù)定位精度

• 一般的定位精度&重復(fù)定位精度

2-3平臺拼接精度

指的是在進(jìn)行多個平臺或系統(tǒng)的數(shù)據(jù)、圖像或信息拼接時，所能達(dá)到的精確度和準(zhǔn)確性水平。 一般通過空間精度（平臺位置、旋轉(zhuǎn)角的準(zhǔn)確對齊）和圖像處理算法保證。

• 好的空間精度

• 一般的空間精度

• 精確的算法

• 普通的算法

XY橫向精度取決于如下幾點：

1、相機(jī)像素

2、鏡頭倍率

3、XY平臺及拼接圖像處理算法

三、除了儀器自身精度外，所處的使用環(huán)境同樣也非常重要

1、穩(wěn)定的溫、濕度控制：

白光干涉儀對溫濕度的穩(wěn)定性要求較高，因為溫濕變化會影響光學(xué)元件的尺寸和折射率，從而影響干涉圖樣的穩(wěn)定性和測量精度。通常要求在在溫濕度變化較小的環(huán)境中操作。

2、低振動環(huán)境：

由于白光干涉儀對于光路的穩(wěn)定性和相位測量的敏感性，要求在低振動的環(huán)境中使用，避免氣流、建筑晃動、周邊設(shè)備運轉(zhuǎn)等引起的干擾。

下一篇，小優(yōu)博士將為大家分享：

《 和一鍵尺寸測量儀精度相關(guān)概念》

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