電子在電場的作用下，飛向基片過程中與氣體原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出氣體正離子和新的電子；新電子飛向基片，離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場，被束縛在靶表面特定區(qū)域，增強(qiáng)電離效率，增加離子密度和能量，從而實(shí)現(xiàn)高速率濺射。

主要應(yīng)用：

適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜、鉑金、銀、鎳、銅等），儀器操作簡單方便，是配合各類型掃描電子顯微鏡制樣*的儀器。是制備低維度，小尺寸納米材料器件的*實(shí)驗(yàn)手段，廣泛應(yīng)用于集成電路，光子晶體，低維半導(dǎo)體、微生物、超微膜材料等領(lǐng)域。

配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家：

熱電（美國原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場發(fā)射、飛納臺(tái)式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國）鎢絲陰極、場發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺(tái)式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。

標(biāo)準(zhǔn)型：   

1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；

4.真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

5.控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；

7.結(jié)構(gòu)簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；

升級型：

1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；

4.真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

5.控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；

7.優(yōu)化機(jī)型外觀，整潔大方，體積靈巧；

8.自動(dòng)真空的進(jìn)排氣，關(guān)機(jī)自動(dòng)放氣（標(biāo)準(zhǔn)版手動(dòng)放氣）

9.優(yōu)化機(jī)型外觀，整潔大方，體積靈巧。

10.數(shù)字方式定時(shí)，0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié)。

低溫磁控型

1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；

4.真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

5.控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；

7.結(jié)構(gòu)簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；

8.自動(dòng)真空的進(jìn)排氣，關(guān)機(jī)自動(dòng)放棄（標(biāo)準(zhǔn)版手動(dòng)放氣）

9.優(yōu)化機(jī)型外觀，整潔大方，體積靈巧；

10.數(shù)字方式定時(shí)，0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié)；

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；

12.升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，更換樣品方便快捷；

13.采用定制“凹”密封，更加方便操作；

14.增大樣品處理室空間，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；

15.定制型真空泵排氣過濾器；

16.獨(dú)立式升降樣品臺(tái)組件（標(biāo)準(zhǔn)為2支柱緊固型）；

1. 石英處理室：
2.  
3.  
4. 濺射類型：（選一）

1.冷陰極磁控型二級濺射；

2.高壓直流二級濺射

3.高壓直流二級濺射升級版

1. 樣臺(tái)尺寸：Φ40-150mm,樣品臺(tái)插孔19-61個(gè)可選；
2. 樣品更換：升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，上蓋打開可獨(dú)立支撐，
3. 靶材尺寸：Φ50或φ57mm;
4. 真空系統(tǒng)：*型直聯(lián)旋片真空泵2L/S；
5. 真空檢測：定制皮氏計(jì)，配合真空指針表，靈敏可靠；
6. 真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；
7. 真空泄壓：自動(dòng)進(jìn)排氣（無需手動(dòng)放氣閥）；
8. 電路保護(hù)：過載保護(hù)；
9. 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口；