分子真空泵（簡稱分子泵）是1913年德國人蓋得（W.Gaede)首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)。

德國人貝克（W.Becker)1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵的極限壓力可以達(dá)到10-9Pa以下，對(duì)油蒸氣等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達(dá)到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸氣的分壓力很低。由于軸承用的潤滑油僅在泵的出口側(cè)存在，故泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中人口處檢查不出油的痕跡。因此，渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵和牽引分子泵相比，在結(jié)構(gòu)和原理方面并不*相同。渦輪分子泵是以高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。

這種泵如果長期不用，軸承處的油蒸氣會(huì)擴(kuò)散到泵的入口側(cè)，降低泵所能達(dá)到的清潔程度。為了消除油蒸氣的污染，在工作時(shí)，需對(duì)泵的入口進(jìn)行烘烤除氣，烘烤溫度要嚴(yán)格控制，過高會(huì)使葉片變形。有的在停泵時(shí)，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內(nèi)，以消除油蒸氣返流造成的污染。

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