測量前，首先確保待測表面干凈無污染。
表面阻抗
1 、平行探頭阻抗測量法(Parallel Probe ResistivityMethod)
平行探頭阻抗測量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993標(biāo)準(zhǔn)的測量方法，這是一種快速的測量平面均勻材料電阻值的方法。這種方法也適合于多層材料的測量，但是在阻抗值報(bào)告中必須注明測量時(shí)的溫度和濕度條件。 A 、將表放在待測量的物體表面。
B、將開關(guān)調(diào)到所需的電壓位置(10伏或100伏)
C、以大約5磅的壓力持續(xù)按下測量按鈕，此時(shí)LCD屏?xí)@示出測量的表面阻抗，溫度和相對濕度值，整個(gè)測量過程大約為十五秒種。
·表面阻抗單位為歐姆/□
·溫度單位為攝式
·相對濕度單位為百分比
在每次測量中，按下測量按鈕后，測試儀將連續(xù)顯示修整測量值，松開按鈕后約四十五秒內(nèi)，顯示的是zui后一個(gè)測量值。
2 、同心環(huán)探頭阻抗測量法（Concentric Ring Probe Resistivitymethod）（同心環(huán)探頭為選購件）
將連線插頭插入表的兩個(gè) 3.5毫米插孔，并將香蕉插頭與同心環(huán)探頭 (選購件)相聯(lián)。將探頭放在待測試物體表面后，按下按鈕約15秒鐘后，在液晶顯示屏上將顯示出正確的溫度和相對濕度，正確的表面阻抗值為液晶顯示屏上的讀數(shù)乘以 10，單位為歐姆/□。 例如：
晶屏上顯示為3.5×10 4 歐姆/□；實(shí)際阻抗值為3.5×10 5 歐姆/□。
二、表面電阻測量（點(diǎn)對點(diǎn)） (Surface ResistanceMeasurement （RTT）)
這個(gè)測量方法是符合EOS/ESD-S4.1測量要求來測量獨(dú)立于接地的兩點(diǎn)之間的電阻，用這個(gè)測量方法得出的測量結(jié)果與被測物體的處理、兩個(gè)5磅探頭之間的距離等因素有關(guān)，因此，應(yīng)選擇正確的測量規(guī)程，每次在同樣要求的測量條件下進(jìn)行測試。 A 、將連線插頭插入表的兩個(gè)3.5毫米插孔，并將香蕉插頭與兩個(gè)5磅重探頭相聯(lián)。
B、按照測量規(guī)程將兩個(gè)探頭放置在待測物體表面。
C、選擇所需的電壓值(10伏或100伏)
D、按下開關(guān)直到顯示出所選的電壓值(10伏或100伏)，繼續(xù)按著開關(guān)直至所測電阻（單位為歐 姆），相對濕度和溫度顯示在液晶顯示屏上。
電阻測量
這個(gè)測量方法是用于測量物體表面一點(diǎn)與表面上另一接地點(diǎn)之間的表面電阻，測量方法符合EOS/ESD S4.1測量標(biāo)準(zhǔn)。
A 、將兩條連線的一端分別插入表的兩個(gè)3.5毫米插孔，然后將其中一條接鱷魚夾，另外一條與一個(gè)5磅重盤形探頭相聯(lián)。
B、將鱷魚夾子接到所知的接地點(diǎn)上，按照測量要求將盤形探頭放在待測物體表面上。
C、按下測量按鈕直至電阻（單位為歐姆）、相對濕度、溫度值顯示在顯示屏上，測量結(jié)果符合EIA，EOS/ESD，ANSI， IEC-93,CECC,ASTM測量標(biāo)準(zhǔn)，對于高阻抗材料的測量時(shí)為保證測得高精度測量結(jié)果，需注意不要使兩引線交疊，不要用手接觸探頭，引線和被測物體。
校準(zhǔn)步驟
1 、范圍為10 3 到10 12 具有精度1%的阻抗電橋。高精度相對濕度表(Relative Humidity Hygrometer)高精度溫度表(High accuracy Thermometer)
2、打開表蓋，小心切莫損傷電路板上兩條連接電源開關(guān)的導(dǎo)線。
3、找到電路板右下方三個(gè)校正調(diào)節(jié)器(Calibration Pots)
4、使表在這一環(huán)境條件下起碼1/2小時(shí)，取得自平衡后才可開始測試。
5、采用測試儀自帶的連接線一端連接上鱷魚夾，另一端香蕉插頭。
6、將3.5毫米長的插頭插入表的插口。
7、用鱷魚夾連接電阻器兩端。
8、三個(gè)校正調(diào)節(jié)器，zui上面的為“濕度”測量，中間的為“阻抗”，zui下面的為“溫度用小號螺絲刀調(diào)節(jié)”。順時(shí)針方向?yàn)樵黾又嫡{(diào)節(jié)，逆時(shí)針方向?yàn)榻档椭嫡{(diào)節(jié)。
9、按下電源開關(guān)，同時(shí)比較“溫度”，“濕度”和“電阻”值。
10、釋放電源開關(guān)，并慢慢調(diào)節(jié)相應(yīng)的校正調(diào)節(jié)器。
11、再次按下電源開關(guān)，觀察LCD顯示屏。
12、如需要再校準(zhǔn)，可再按下電源開關(guān)和調(diào)節(jié)校正器。
13、蓋上表蓋并將四個(gè)固定螺絲上緊。
14、按下電源開關(guān)確定表是否工作正常。
電阻測試儀使用方法
1）熟讀接地電阻測量儀的使用說明書，應(yīng)全面了解儀器的結(jié)構(gòu)、性能及使用方法。
2）備齊測量時(shí)所必須的工具及全部儀器附件，并將儀器和接地探針擦拭干凈，特別是接地探針，一定要將其表面影響導(dǎo)電能力的污垢及銹漬清理干凈。
3）將接地干線與接地體的連接點(diǎn)或接地干線上所有接地支線的連接點(diǎn)斷開，使接地體脫離任何連接關(guān)系成為獨(dú)立體。
1）將兩個(gè)接地探針沿接地體輻射方向分別插入距接地體20m、40m的地下，插人深度為400mm，如下圖所示。
接地電阻測試使用圖解：
a）實(shí)際操作
b）等效原理
2）將接地電阻測量儀平放于接地體附近，并進(jìn)行接線，接線方法如下：
①用zui短的導(dǎo)線將接地體與接地測量儀的接線端“E1”（三端鈕的測量儀）或與C2、”短接后的公共端（四端鈕的測量儀）相連。
②用zui長的導(dǎo)線將距接地體40m的測量探針（電流探針）與測量儀的接線鈕“C1”相連。
③用余下的長度居中的導(dǎo)線將距接地體⒛m的測量探針（電位探針）與測量儀的接線端“P1”相連。
3）將測量儀水平放置后，檢查檢流計(jì)的指針是否指向中心線，否則調(diào)節(jié)“零位調(diào)整器”使測量儀指針指向中心線。
4）將“倍率標(biāo)度”（或稱粗調(diào)旋鈕）置于zui大倍數(shù)，并慢慢地轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)柄（指針開始偏移），同時(shí)旋動(dòng)“測量標(biāo)度盤”（或稱細(xì)調(diào)旋鈕）使檢流計(jì)指針指向中心線。
5）當(dāng)檢流計(jì)的指針接近于平衡時(shí)（指針近于中心線）加快搖動(dòng)轉(zhuǎn)柄，使其轉(zhuǎn)速達(dá)到120r/min以上，同時(shí)調(diào)整“測量標(biāo)度盤”，使指針指向中心線。
6）若“測量標(biāo)度盤”的讀數(shù)過小（小于1）不易讀準(zhǔn)確時(shí)，說明倍率標(biāo)度倍數(shù)過大。此時(shí)應(yīng)將“倍率標(biāo)度”置于較小的倍數(shù)，重新調(diào)整“測量標(biāo)度盤”使指針指向中心線上并讀出準(zhǔn)確讀數(shù)。
7）計(jì)算測量結(jié)果，即R地=“倍率標(biāo)度”讀數(shù)ד測量標(biāo)度盤”讀數(shù)。