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VS21-真空探針臺(tái)測試儀
  • VS21-真空探針臺(tái)測試儀
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 廣東省深圳市

更新時(shí)間:2025-04-15 16:18:24

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真空探針臺(tái)測試儀,用于芯片,氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能,也可用 于材料分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測試、物理研究,氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件。

特點(diǎn):

測量溫度寬,控溫精度高

XYZ三軸方向移動(dòng),定位精度高

真空漏率優(yōu)秀,真空度高        

精密小巧,易于搬運(yùn)

用途

真空探針臺(tái)測試儀,用于芯片,氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能,也可用于材料分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測試、物理研究,氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件。

真空探針臺(tái)測試儀產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目

訂貨代碼

VS21-4 VS21-6

主體

VS21-4
4探針)

腔體材質(zhì): AL6061(可定制SUS304腔體)
密封方式:氟膠圈    
抽氣口:KF16
電信采集接口:標(biāo)配BNC接口
腔體進(jìn)氣口:6mm(特殊可定制)
腔體外尺寸:6寸
樣品臺(tái)尺寸:2寸
樣品觀察窗:φ50mm

VS21-6
6探針)

探針組件    (單組價(jià)格)

Q2

氣密型同軸接口探針夾具(普通型)

Q3

氣密型三軸接口探針夾具(抗干擾性強(qiáng),應(yīng)用于半導(dǎo)體)

V2

真空型同軸接口探針夾具(普通型,需要抽真空時(shí)選擇)

V3

真空型三軸接口探針夾具(抗干擾性強(qiáng),應(yīng)用于半導(dǎo)體,需要抽真空時(shí)選擇)

探針規(guī)格

000T

鍍金,50μm(可選:1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例:010T代表10μm尺寸的探針。

信號(hào)線纜

R1

單頭甩空線

R2

雙頭線

位移座

ST

XYZ三軸位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm)

高低溫控制系統(tǒng)

H

高溫控制器:常溫~450℃,控制精度±0.25℃,分辨率0.1℃(進(jìn)口溫控)

L

低溫控制器:-194℃~0℃,控制精度±0.25℃

真空系統(tǒng)

MP

機(jī)械泵(飛躍):2.2L/S(真空度1*10-1Pa)(不包含真空計(jì))

TP

分子泵組(Leybold:90L/S(真空度5*10-5Pa)

復(fù)合真空計(jì)(Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用

不銹鋼材質(zhì),才能抽到高真空

顯微鏡

PM

體式顯微鏡:ZOOM645S(環(huán)形光源)

CM

CCD:200萬像素

DP

戴爾顯示器:21寸

SJ

視頻顯微鏡+10寸顯示屏100萬像素

附件

D20

液氮杜瓦罐:20L(溫度控制在-196℃-室溫可控







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