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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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TG50FOsaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- TG50F 產(chǎn)品型號
- OSAKA大阪真空 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：85更新時間：2025-04-19 14:57:52
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 分子泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池 |
Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
特點：
輕巧設(shè)計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式
產(chǎn)品介紹
Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
全面安裝
輕巧設(shè)計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 吸氣口法蘭 | VG65/ISO-R63/CF63 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 51 |
| N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 49 | |
| H2 (L/s) | 12 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 極限壓力 | VG?ISO-R/CF (Pa) | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF (Torr) | <2.3×10-8 | |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 80 |
| 啟動時間 | (min) | 1-1.5 |
| 停止時間 | (min) | 1-1.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 1330/10 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧50 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
※1：輔助泵的容量是100L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
