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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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XTRAIA CD-3200T玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- XTRAIA CD-3200T 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問次數(shù)：252更新時(shí)間：2024-09-29 09:58:14
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產(chǎn)品簡介
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
透射射線CD測(cè)量工具
產(chǎn)品介紹
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
TSAXS 是一種用于 CD 測(cè)量的在線小角度 X 射線散射方法。
兼容最大 300 毫米的晶圓
端器件微形狀（淺圖案/深圖案）測(cè)量設(shè)備
可以對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行無損測(cè)量，例如橫截面輪廓、深度、形狀和坡度。獲得反映橫截面形狀的 X 射線衍射圖像。
XTRAIA CD-3200T 概述
我們提供一系列適合各種形狀半導(dǎo)體器件的設(shè)備。
可以非破壞性地測(cè)量納米結(jié)構(gòu)，例如橫截面輪廓、深度、形狀和坡度。
無需任何事先準(zhǔn)備（例如文庫）即可開始測(cè)量和分析。準(zhǔn)確測(cè)量抗蝕劑等有機(jī)材料，無收縮。
應(yīng)用實(shí)例
使用 TSAXS 進(jìn)行深孔無損測(cè)量
疊加 TSAXS 和橫截面掃描電子顯微鏡 (SEM)
TSAXS 側(cè)壁 TiN 薄膜的厚度分布
晶圓平面內(nèi)CD和面內(nèi)傾斜角的分布
深度方向CD剖面
XTRAIA CD-3200T 規(guī)格
| 方法 | 小角 X 射線散射 - 透射模式 (TSAXS) | |
|---|---|---|
| 目的 | 高深寬比 (HAR) 結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸測(cè)量 | |
| X射線源 | 旋轉(zhuǎn)陽極陰極（Mo Ka，17.4 keV） | |
| X射線光學(xué)系統(tǒng) | 多層鏡光學(xué)系統(tǒng) | |
| X射線探測(cè)器 | HyPix 6000HE (2D) | |
| 主要部件 | 圖案化晶圓的測(cè)量 周期性微小 3D 形狀 深孔/柱結(jié)構(gòu) DRAM、3D-NAND、3D LSI 結(jié)構(gòu) | |
| 特征 | 模式識(shí)別和全晶圓映射 | |
| 選項(xiàng) | GEM300 軟件，E84/OHT 支持 | |
| 機(jī)身尺寸 | 4020（寬）×2500（深）×3450（高）毫米 | |
| 測(cè)量目標(biāo) | 節(jié)距、CD、高度、側(cè)壁厚度、SWA（側(cè)壁角度）、RT（圓頂）、RB（圓底）、CD分布、節(jié)距分布、高度分布 | |
