聯(lián)系電話
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年您現(xiàn)在的位置： 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>Rigaku理學(xué)>>半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備>> ONYX 3200玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
ONYX 3200玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- ONYX 3200 產(chǎn)品型號(hào)
- 其他品牌 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：179更新時(shí)間：2024-09-29 09:22:30
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
- 聯(lián)系人：
- 吳小姐
- 電話：
- 192-7009-5986
- 手機(jī)：
- 19270095986
- 售后：
- 19270095986
- 傳真：
- 86-0755-26703456
- 地址：
- 龍華街道龍華大道906號(hào)電商集團(tuán)7層
- 個(gè)性化：
- www.tamasakisci.cn
- 網(wǎng)址：
- www.tamasakisci.cn
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
內(nèi)聯(lián)雙頭微點(diǎn) XRF
無損晶圓檢測(cè)和計(jì)量
雙 X 射線源（多毛細(xì)管/單色），
適用于最大 300 mm 的晶圓
產(chǎn)品介紹
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
ONYX 3200 概述
ONYX 3200 是市場(chǎng)上先進(jìn)的混合測(cè)量解決方案。這款第二代雙頭工具結(jié)合了先進(jìn)的 μXRF 和光學(xué)技術(shù)，可在在線半導(dǎo)體制造中提供高精度的缺陷檢測(cè)和最高的吞吐量。
ONYX 系列系統(tǒng)旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個(gè)制造過程中提供全面的計(jì)量方法。這包括適合先進(jìn)封裝和單凸點(diǎn)應(yīng)用的配置，并允許監(jiān)控 Ag/Sn 比率。
優(yōu)化源性能
用于過程監(jiān)控的單μbump測(cè)量
高產(chǎn)量和增加的吞吐量
準(zhǔn)確分析金屬厚度和成分
對(duì)層厚度和成分的最大敏感性
二維顯微鏡 | 二維顯微鏡放大倍數(shù) | 3D掃描儀 |
|
|
ONYX 3200 特點(diǎn)
雙頭 μXRF 配置提供分析靈活性，實(shí)現(xiàn)最佳應(yīng)用性能
單色和多色 μXRF 光學(xué)系統(tǒng)
低功率X射線，無損分析
聚焦垂直激勵(lì)配置
通過排列四個(gè)硅漂移探測(cè)器（SDD）擴(kuò)大有效面積并提高分辨率
成分分析和膜厚測(cè)量
全自動(dòng)校準(zhǔn)過程提供長(zhǎng)期穩(wěn)定性、一致性和X射線管老化校正
實(shí)現(xiàn)亞微米精度的先進(jìn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
內(nèi)聯(lián) HVM 測(cè)量的理想選擇
ONYX 3200 規(guī)格
| 測(cè)量類型 | 雙頭微點(diǎn) EDXRF 和光學(xué)檢測(cè) (2D-3D) | |
|---|---|---|
| 晶圓尺寸 | 最大300mm | |
| 晶圓類型 | 毯子和圖案晶圓 | |
| 導(dǎo)航 | 精密平臺(tái)輔以圖像識(shí)別算法 ，可快速亞微米導(dǎo)航至單個(gè)特征中心 | |
| 微型 XRF 光束方向 | 正入射微點(diǎn) (μXRF) | |
| 光學(xué)系統(tǒng) | “多色"（X 射線光學(xué)）和顏色“單色"（X 射線光學(xué)） | |
| 微型 XRF 束斑尺寸 | 可調(diào)范圍為 10 至 50 µm | |
| 探測(cè)器類型 | 硅漂移探測(cè)器 (SDD)：3 種配置 1. 常規(guī) > Al 2. 輕元素：C、N、O、F、S 3. 重元素：> Ge（針對(duì) Ag、Sn 進(jìn)行了優(yōu)化） | |
| DPP｜數(shù)字脈沖處理器 | 超過 100 萬光子/秒的高效率 | |
