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更新時(shí)間：2025-03-03 08:04:13
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日立掃描電子顯微鏡
SU8600
高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。
特點(diǎn)
*高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號(hào)能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測(cè)器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測(cè)器，即使掃描時(shí)間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.
自動(dòng)化功能*
EM Flow Creator 允許客戶(hù)創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等。用戶(hù)可以通過(guò)簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過(guò)調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
靈活的用戶(hù)界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集。
日立掃描電子顯微鏡
技術(shù)參數(shù)
機(jī)型 | SU8600 系列 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽(yáng)極烘烤系統(tǒng)。 | |
加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
探測(cè)器 | （部分為選配項(xiàng)） | 上探測(cè)器(UD) |
UD ExB能量過(guò)濾器，包含SE/BSE信號(hào)混合功能 | ||
下探測(cè)器(LD) | ||
頂探測(cè)器(TD) | ||
TD能量過(guò)濾器 | ||
鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器(IMD) | ||
半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器 (PD-BSED) | ||
新型閃爍體式背散射電子探測(cè)器(OCD) | ||
陰極熒光探測(cè)器(CLD) | ||
掃描透射探測(cè)器(STEM Detector) | ||
附件 | （部分為選配項(xiàng)） | 導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線(xiàn)能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測(cè)器(EBSD) |
軟件 | （部分為選配項(xiàng)） | EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下） |
樣品臺(tái) | 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)（X/Y/R/Z/T） |
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | X：0~110 mm | |
Y：0~110 mm | ||
Z：1.5~40 mm | ||
T：-5~70° | ||
R：360° | ||
樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑可達(dá)：150 mm |
*減速模式下
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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