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產(chǎn)品型號

高真空快速 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-4-RTP-C3HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1 、雙層 Al2O3 纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3 、PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

4 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： 單相 208V-240V AC    50Hz/60Hz    10KW

2、石英管： 外徑 ?110mm ，內(nèi)徑 ?103mm ，長 380mm

3、加熱元件： 8 根紅外燈管， 燈絲長 200mm ，絲圈 ?10mm ，燈長 300mm

4、加熱區(qū)： 300mm

5 、工作溫度： 溫度 1100℃

6 、控溫精度：±0.5℃

7、升溫速度： RT-800℃時(shí)為 50℃/s ，800℃-1000℃時(shí)為 10℃/s

8、溫控儀：可控硅（ SCR）PID 自動控制

9 、真空法蘭： 不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫 O 型圈密封，長時(shí)間在>900℃條件下 運(yùn)行必須采用水冷， 循環(huán)水流量為 0.5m3/hr

10、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）， 10-5torr  （分子泵）

11 、質(zhì)量流量計(jì)： 3 個(gè)， MFC1 范圍0-100sccm ，MFC2 范圍0-200sccm ，MFC3 范圍0-500sccm， 精度 1±%FS

12、混氣罐： ?80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 爐體 760mm×330mm×530mm ，真空混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm

重量： 爐體 45kg ，真空混氣系統(tǒng) 75kg