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VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)
  • VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)
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更新時(shí)間:2024-12-29 21:00:07

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spincoater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī),在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量

 

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、 勻膠機(jī)、 顯影機(jī)、 甩膠機(jī)、 旋涂?jī)x、 spin  coater 主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影表面涂覆工藝 是一款上蓋可  以加熱的勻膠機(jī)、 顯影機(jī),在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)  蒸發(fā)到含量。 工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布, 有利于薄膜和顯影過程的順利進(jìn)行。 本機(jī)電機(jī)部分、 溫度控制部分、 注液部分分別使用獨(dú)立  電源進(jìn)行控制,電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的 PLC 進(jìn)行控制,轉(zhuǎn)數(shù)在 100-2000RPM  范圍內(nèi)可調(diào)。 涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段,在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。 VTC-200-4P   紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、顯影機(jī)、  spincoater 啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)  數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 對(duì)于樣件的固定,采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡(jiǎn)便。  此外,在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn) 轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

 

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、  spin coater

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地。

3、氣:不需要

 

4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kgs 以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、 采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡(jiǎn)便; 橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。

2、 該機(jī)上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個(gè)穩(wěn)定值。

3 本機(jī)上蓋具有 4 組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。

4、電機(jī)部分、  溫度控制部分、  注液部分分別使用獨(dú)立電源的方式,電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)       擾性高  PLC 進(jìn)   制, 數(shù) 值顯示   觀可 靠, 轉(zhuǎn) 數(shù)   100-2000RPM 內(nèi)可調(diào)。

5、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段,在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要,  可分別進(jìn)行時(shí)間 1、 轉(zhuǎn)速 1、時(shí)間 2、轉(zhuǎn)速 2 的設(shè)置。 設(shè)置完成啟動(dòng)后,涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速 1 在時(shí)間 1 時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。  當(dāng)時(shí)間 1 時(shí)間結(jié)束時(shí),涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入 時(shí)間 2 時(shí)間階段運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)更加均勻。

 

6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。

7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

8、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂 性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

技術(shù)參數(shù)

1、 電源:  AC220/110V 50/60Hz

2、 電機(jī)功率:  功率 210W

3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時(shí)間分別設(shè)置,  在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(滴涂膠 ),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質(zhì)均勻。

轉(zhuǎn)數(shù) 1 100-2000 RPM 有效

時(shí)間 1 1--200s 有效

轉(zhuǎn)數(shù) 2 100-2000 RPM 有效

時(shí)間 2 1--200s 有效

4 適用于 Φ153mm樣件涂膜。

5、上蓋加熱溫度范圍:  0-100℃。

6、環(huán)境溫度 5-40℃,相對(duì)濕度不大于 85%RH,設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體影 響。

規(guī)格尺寸

主機(jī)外形尺寸 500mm (長(zhǎng))  ×410mm (寬)  ×330mm (高),  重量 24Kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

磁性鋼片模板(Ф160mm

1 

2

吸盤(Ф153mm)

1 

3

溫控箱

1 臺(tái)

4

蠕動(dòng)泵

6 臺(tái)

可選配件

橡膠吸盤

 

 

 

 

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