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產品簡介： VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型） ，控制面板采 用觸摸屏模式， 基片極限尺寸為 2″ ，放置樣品的直徑為 ?50mm ，加熱溫度達 500℃。 VTC-16-3HD 3 靶等 離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材， 不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺， 能夠依次在同 一樣品上涂覆三層薄膜， 適用于實驗室制備復膜的樣品。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀采用 PLC 控制面 板對設備進行控制， 操作方便直觀。該機設備小巧， 占用實驗室空間少， 操作簡單， 應用廣泛。因此被廣 泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。
產品名稱 | VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀 |
產品型號 | VTC-16-3HD 3 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風裝置：需要 |
主要特點 | 1 、PLC 控制面板， 4.3″觸摸屏， PID 控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 |
3、可與真空泵、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。 4 、已通過 CE 認證。 |
技術參數(shù) | 1、輸入功率： 110V/220V 通用 2000W （含真空泵） 2、輸出功率： 1600VDC 50mA（max 電流） |
3、石英罩： ?160mm×120mm 4、樣品臺： ?50mm （可選購加熱型樣品臺，極限溫度可到500℃； 極限濺射時間不可超過5min） 5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵 6、進氣口：裝有精密可調針閥，以實現(xiàn)方便的調節(jié)進氣量 7、靶材：尺寸直徑 ?47mm ，厚度 0.5mm-3mm；可濺射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni，不可濺射氧 化物、半導體、一些輕金屬、 Al 、Zn 、C 等 | |
產品規(guī)格 | 尺寸： 360mm ×350mm×3600mm；重量： 50kg |
可選配件 | 1 、KF25 真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（ 120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 |
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