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產(chǎn)品型號(hào)

1200℃立式真空小管式爐 OTF-1200X-S-VT

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度25℃±15℃ ，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣：如作為CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。

4 、采用 K 型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫。

5 、PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

6 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    1.2KW

2、石英管： 外徑 Ø25mm ，內(nèi)徑 Ø20mm ，長(zhǎng) 450mm

外徑 Ø50mm ，內(nèi)徑 Ø44mm ，長(zhǎng) 450mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域： 200mm

5、恒溫區(qū)域： 100mm

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）， 10-5torr  （分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 300mm×340mm×1000mm；重量： 20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個(gè)

3

不銹鋼法蘭

2 個(gè)

4

高溫手套

1 雙

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

3 、KF25 轉(zhuǎn)接頭

4、卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動(dòng)爐架