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多通道質子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)20160805
  • 多通道質子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)20160805
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更新時間:2024-12-29 21:00:07

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產(chǎn)品簡介:GSL-LCD是一款多路質量流量計控制系統(tǒng),其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間

 

 

img1

產(chǎn)品簡介: GSL-LCD 是一款多路質量流量計控制系統(tǒng),其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里, 移動柜可以承重 1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上  以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示都集中在一 6"的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛的用于材料界中CVD 實驗和各種材料的退火實驗。

 

產(chǎn)品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

技術參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

 

      

工作溫度: 5~45ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

  : ±  0.5-1.5   %F.S.         

: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意: 其他流量范圍的 可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

  : ±  0.5-1.5  %F.S.

重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意: 其他流量范圍的 可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

  : ±  0.5-1.5  %F.S.         

: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意: 其他流量范圍的 可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±0.5-1.5%F.S.

重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM          -九路可按照客戶要求 定制

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸: 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz 單相

  

23W

 

各通道的氣路設定和查看都集中在一 6"的觸摸屏上

 

RS485 通訊接口和 PC 控溫軟件可以連接到電腦上,進行遠程控制

 

 

PLC 觸摸屏

 

 

img3

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

  

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為 1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為 1/4”聚四氟管

 

img4

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配 

316 不銹鋼針閥

Φ1/4” 不銹鋼管

 

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