SD型推薦給在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程中已經(jīng)使用其他公司生產(chǎn)的測(cè)光表的客戶，以及需要確保與這些測(cè)量?jī)x器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶（SD型也用于我們的光刻設(shè)備中的液晶基板的投影光刻設(shè)備和外圍光刻設(shè)備），以及使用全新測(cè)光表的客戶。

為了保證舊過程數(shù)據(jù)的兼容性，使用SN型為SD型提供指示值（在相同測(cè)量條件下測(cè)量用作校準(zhǔn)輻射源的高壓UV燈的365nm發(fā)射線時(shí)顯示的照度值： mW/cm2）。

與可見光的照度計(jì)和照度計(jì)（以LUX單位測(cè)量家庭，辦公室，商店，博物館等亮度的照度計(jì)和照度計(jì)）不同，適用于所有照度計(jì)和紫外線照度計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應(yīng)用進(jìn)行JIS轉(zhuǎn)換工作）。

即使各公司的相對(duì)光譜靈敏度是以365nm發(fā)射線為主要組成的光源測(cè)量照度而制作的，也從測(cè)量的峰值波長(zhǎng)（相對(duì)光譜靈敏度特性的波長(zhǎng)用1表示），短波長(zhǎng)側(cè)（約300nm~310nm）和長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)（約380nm~400nm）的上升開始。下降的波長(zhǎng)和它前后的曲線略有不同。

此外，在設(shè)計(jì)方面已經(jīng)做出了努力，使感光器的感光角特性（據(jù)說是COSθ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實(shí)情況是它們尚未實(shí)現(xiàn)。

UV-M03A

它是一種小巧輕便的手持式測(cè)量?jī)x器。它適用于管理生產(chǎn)車間配備紫外線燈的設(shè)備。請(qǐng)用它來控制紫外線燈的紫外線照射量（照度和光強(qiáng)度）。

它是一種小巧輕便的手持式，可以輕松管理光刻設(shè)備的照度和光強(qiáng)度。

可以很容易地測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度。

根據(jù)您正在使用（或計(jì)劃使用）的光源和光刻膠的靈敏度選擇 UV-25、35 或 42 的接收器。但是，在電子電路（印刷電路）板的制造過程中使用時(shí)，建議選擇UV-SN25、UV-SN35和UV-SN42，在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程中使用UV-SD25、UV-SD35和UV-SD42

測(cè)量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。

它還具有模擬輸出。

SN模式已被長(zhǎng)期使用我們的光刻設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用，并保證了工藝管理的連續(xù)性。

與可見光照度計(jì)（以LUX單位測(cè)量家庭、辦公室、商店、博物館等亮度的照度計(jì)）不同，適用于所有紫外線照度計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應(yīng)用進(jìn)行JIS轉(zhuǎn)換工作）。

接收器（可互換） UV-SD35 （UV-SN35）

測(cè)量波長(zhǎng)范圍 310~385納米

測(cè)量照度范圍 0.001~50mW/cm2

測(cè)量光范圍 0.001~19999mJ/cm2

對(duì)準(zhǔn)精度在紫外線標(biāo)準(zhǔn)的1.5%以內(nèi)±

重復(fù)性 1.5%±以內(nèi)

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