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NC-M0003-01ARROWS玉崎小王子單臂機(jī)器人電機(jī)馬達(dá)
| 參考價: | ￥ 31358 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- NC-M0003-01 產(chǎn)品型號
- ARROWS/日本 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：463更新時間：2024-11-20 18:03:26
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- 網(wǎng)址：
- www.tamasaki.cn/
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產(chǎn)品簡介
| 電動機(jī)功率 | 108WkW | 外形尺寸 | 102×122×92mmmm |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣 | 重量 | 1.2kg |
| 訂貨號 | 137*/1702/*3088 |
ARROWS玉崎小王子單臂機(jī)器人電機(jī)馬達(dá)
產(chǎn)品介紹
ARROWS玉崎小王子單臂機(jī)器人電機(jī)馬達(dá)
ARROWS玉崎小王子單臂機(jī)器人電機(jī)馬達(dá)
這是盒式到盒式自動晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時間為 10 秒，節(jié)拍時間為 30 秒，實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。機(jī)器人從25片晶圓存儲盒中一張一張取出晶圓，進(jìn)行自動對準(zhǔn)、檢查，然后將其存儲在晶圓盒中。易于操作。
可以自動檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。
我們在每張 30 秒內(nèi)（包括運(yùn)輸時間）進(jìn)行高速檢查。
這是一款增加了新功能、更容易使用的高精度檢查機(jī)。
緊湊且省電的設(shè)計(jì)。交流100V8A
外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg
只需放置好晶圓盒并按下操作按鈕，機(jī)器人就會將晶圓一張一張取出并輸送至檢測站。圖像對準(zhǔn)后，晶圓的外邊緣和三個頂面和底面同時被拍照并檢查是否有劃痕、異物、裂紋和缺口等缺陷，然后返回到晶圓盒中。
通過吸附在晶圓背面進(jìn)行檢查，相機(jī)識別凹口/定向平面并對其進(jìn)行最佳控制。
?特點(diǎn)?
1. 可以同時進(jìn)行三個邊緣成像、整個晶圓周邊成像以及缺陷檢查。
2. 三光學(xué)系統(tǒng)允許使用一臺線相機(jī)檢查三個表面。
3. 集成照明為邊緣檢查創(chuàng)造了理想的照明。
4. 可以進(jìn)行包括定向平面/缺口在內(nèi)的外觀檢查。（僅檢查凹口的斜面。）
5. 高性能，測量分辨率為10μm，檢測缺陷尺寸為20μm，通過/失敗判斷缺陷為50μm。
?功能?
?功能?
1. 自動對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)：利用圖像自動對準(zhǔn)晶圓中心和檢查中心。
2. 三面獨(dú)立設(shè)置：可進(jìn)行檢驗(yàn)條件配方和照明設(shè)置。
3. 復(fù)檢功能：可對判定為NG的晶圓進(jìn)行目視復(fù)檢。
4. 顯示更改功能：通過放大和反轉(zhuǎn)功能，現(xiàn)在可以更輕松地查看原始圖像。
5. 大的污垢和標(biāo)記可以與缺陷分開。檢驗(yàn)點(diǎn)
同時拍攝晶片的邊緣表面A、頂表面B和底表面C的圖像。三光學(xué)系統(tǒng)允許從兩側(cè)檢查斜面，從而可以跨邊界檢查缺陷。
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