日本ULVAC愛發(fā)科搖動活塞型干式真空泵
活塞干式真空泵通過氣缸內皮碗密封的往復運動來形成真空狀態(tài)。
泵速體積越大、泵機揚程數越高。
日本ULVAC愛發(fā)科搖動活塞型干式真空泵
特點
結構緊湊，排氣量大。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
大氣壓下可運作。
可全壓力范圍內連續(xù)運轉。
結構簡單，維護方便。
用途
真空吸盤，真空鑷子。
半導體行業(yè)。（處理機，貼片機）
FPD行業(yè)。（壓合機）
印刷機。
注塑成型。
吸附和轉移。
日本ULVAC愛發(fā)科搖動活塞型干式真空泵
規(guī)格
| Unit | 50Hz | 60Hz |
| 有效排氣速度 | L/min | 300 | 330 |
| 極限壓力*1 | Pa (kPa) | 8.0×103 （-93.3） |
| 使用電動機*2 | Three phase, 200-230V, 400W, 4P |
| 全負荷電流 | A | 2.1 | 2.5 |
| 重量 | kg | 20 |
| 吸/排出孔（內螺紋尺寸） | mm | O.D.Φ16×I.D.Φ12 (Rc 1/2) |
| 使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 0～40 |
| 最大尺寸 | mm | 315(W)×443(L)×231(H) |
*1:極限壓力如（）真空計顯示。
*2:不包括電源插頭和電源線
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