您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
13410020288
當前位置：> 供求商機> 12136-JA03-VAT真空閥
過程控制和隔離
真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導體制造中是至關重要的。在上游和下游過程中，所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復性。其結果是：在規(guī)定的時間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設定了標準。
用于半導體制造的控制和隔離的VAT真空閥組合總是根據(jù)特殊的要求而定制方案。根據(jù)不同的要求和應用領域，各個系列的性能參數(shù)和使用的閥門技術總是適應每個案例中客戶的具體需求。其主要特點包括，可適應的打開和關閉周期，穩(wěn)定的自適應密封，先進的控制器技術，可實現(xiàn)高精度的控制，防止顆粒的激活和釋放，以及高制造質(zhì)量，保證所制造的每個閥門都有確定的、穩(wěn)定的性能參數(shù)。要了解更多關于VAT真空閥解決方案如何解決控制和隔離方面的挑戰(zhàn)，請從下面列出的系列中選擇。
VAT真空閥 12136-JA03
2.1 全真空閘閥關鍵特點
特點:
設計可靠、成熟
避免產(chǎn)生顆粒的 VATLOCK 技術
機械鎖定在關閉位置
優(yōu)勢:
性能可靠
分體式設計，易于清潔
購置成本低
技術數(shù)據(jù)
尺寸 DN 63 – 320 mm (2?" – 12")
驅(qū)動器氣動 雙作用
手動 帶推桿
閥體材料 鋁
進給機構 軸進給機構
標準法蘭 ISO-F, JIS
泄漏率閥體 < 1 × 10-9 mbar ls-1
閥座 < 1 × 10-9 mbar ls-1
壓力范圍 1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (絕對壓強) (DN 63 – 200)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) (DN 250 – 320)
閥板可承受壓差閥板 ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
打開時 ≤ 30 mbar
維護前開關次數(shù) 20萬次 (DN 63 – 100)
10萬次 (DN 160 – 320)
溫度閥體 ≤ 120 °C
手動和氣動驅(qū)動器 ≤ 80 °C
電磁閥 ≤ 50 °C
位置指示器 ≤ 80 °C
加熱和冷卻速率 ≤ 30 °C h-1
材質(zhì)閥體 EN AW-5083 (3.3547,
EN AW-6061 (3.3211) (DN 63 – 100)
EN AC-42100 (3.2371) (DN 160 – 320)
機構 AISI 304 (1.4301) (DN 63 – 100)
EN AW-6082 (3.2315) (DN 160 – 320)
密封閥帽、閥板 氟橡膠（例如 Viton®）
安裝位置 任何位置
電磁閥 24 VDC，5.4 W（可根據(jù)要求提供其他值）
位置指示器：觸點額定值電壓 ≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
電流 ≤ 2 A ≤ 1.2 A
閥門位置指示 視覺（機械）
超高真空隔離的標準
真空隔離標準
出色的可靠性
快速且精準的下游壓力控制
快速且精準的下游壓力控制和隔離
高壓高溫解決方案
適用于高循環(huán)真空控制和隔離
適用于標準真空控制和隔離
可優(yōu)化半導體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離
高過程壓力、低流量腐蝕性蝕刻應用的理想之選
流量優(yōu)化壓力控制
體積小巧，性能出眾
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
