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62.0 角控制閥可提供非常精確的壓力控制性能。得益于其電動線性驅(qū)動器，該系列閥門能夠以最小流導(dǎo)通過順暢且精細(xì)的控制循環(huán)地打開和關(guān)閉。集成式軟抽控制功能通過避免與大多數(shù)傳統(tǒng)氣動驅(qū)動器相關(guān)的壓力峰值來增強(qiáng)這一點(diǎn)。

vatvalve角控制閥62032-KAGH-0001

62.0 角控制閥系列適用于高壓和/或高溫環(huán)境（例如 ALD 或 CVD）下的真空工藝。62.0 系列的最高工作溫度為 200℃，可提供非常精確的壓力控制性能。得益于其電動線性驅(qū)動器，該系列閥門能夠以最小流導(dǎo)通過順暢且精細(xì)的控制循環(huán)地打開和關(guān)閉。集成式軟抽控制功能通過避免與大多數(shù)傳統(tǒng)氣動驅(qū)動器相關(guān)的壓力峰值來增強(qiáng)這一點(diǎn)。

設(shè)備上控制器（DN 80 和 DN 100 的外部控制器）提供服務(wù)端口連接和各種接口以連接到 PCU。閥門控制器的主要特點(diǎn)也是控制性能分析儀應(yīng)用程序，通過該應(yīng)用程序可以分析一段時(shí)間內(nèi)閥門在各種工藝條件下的性能。

vatvalve角控制閥62032-KAGH-0001

控制器接口為 RS232、RS485、Logic（模擬/ 數(shù)字）、DeviceNet®、Profibus 和 EtherCAT。

技術(shù)數(shù)據(jù)：

尺寸

DN 40 (1 ?")

法蘭

ISO-KF

材料

鋁

驅(qū)動器

帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的線性驅(qū)動器

定位指示信號

沒有

電磁閥

沒有

控制器

基本版本

INTERFACE

RS232

低壓力

1 × 10-8 mbar

最高壓力

1.4 bar (abs)

閘門上的壓差

≤ 1 bar

打開時(shí)的壓差

≤ 1 bar

電導(dǎo)率

0.05 ls?1

打開到關(guān)閉

1.25 s

關(guān)閉到打開

0.9 s

壓力控制（節(jié)流）默認(rèn)速度時(shí)間

1.7 s

控制器配置

基本版本/集群從屬

控制器接口+感應(yīng)器

RS232接口/2個(gè)感應(yīng)器

重量

2.3 kg / 5.07 lbs

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