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vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導(dǎo)體制造中是至關(guān)重要的。在上游和下游過(guò)程中，所有的閥門(mén)功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復(fù)性。其結(jié)果是：在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
技術(shù)參數(shù)：
尺寸
DN 25 (1")
驅(qū)動(dòng)器
步進(jìn)電機(jī)
材料
鋁
法蘭
ISO-KF
控制器配置
SPS
控制器接口+感應(yīng)器
RS232接口/2個(gè)感應(yīng)器
低壓力
1 × 10-8 mbar
最高壓力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循環(huán)直到第一次維修
2 000 000
最高溫度閥體
≤ 150 °C
密封
FKM
閘門(mén)上的壓差
≤ 1 bar
典型的關(guān)閉或開(kāi)放時(shí)間
90 ms
最小可控電導(dǎo)率(N2分子流)
0.15 ls-1
最大電導(dǎo)率(N2分子流)
22 ls-1
重量
2.2 kg / 4.85 lbs
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
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