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Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10
RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。
特性與優(yōu)點
雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺應用的理想解決方案。
高分辨率 — 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比，平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應用。
敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發(fā)射頭。適合其功耗要求低于標準RLD額定值（即 < 2 W）的應用。
| 軸行程 | 0 m至1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm 1 m/s且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm |
| 最高速度 | 可達1 m/s |
對于非真空應用，為了維持變動環(huán)境條件下的精度，需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時正交補償系統(tǒng)，用于對環(huán)境變化進行補償。
若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統(tǒng)中，可達到38.6皮米的分辨率。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號，并提供并行輸出格式。
Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10
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