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Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化
差分發(fā)射頭具有光學設計，可實現極低的SDE性能。內置的激光準直輔助鏡可在設定過程中實現俯仰和扭擺角度調整，從而改進準直過程（僅適合平面鏡應用）。
RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路，內置激光準直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調整，安裝系統(tǒng)的設計允許拆卸發(fā)射頭和調整發(fā)射頭位置，對系統(tǒng)準直的影響極小。
優(yōu)異的測量性能 — ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達到38.6 pm。
差分配置 — 測量運動平臺相對于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環(huán)境波動有關的工作區(qū)側壁移動。
快速調節(jié)準直 — 采用四個內置激光準直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進行準直調整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。
| 軸行程 | 0 m - 1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信號強度 > 70%時 <±1 nm 1 m/s且信號強度 > 50%時 <±6 nm |
| 最高速度 | 最高可達1 m/s |
通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調嚴格控制環(huán)境中的應用的理想選擇。
Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI
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