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Renishaw雷尼紹無內置光學鏡干涉儀 RLD10-XX
將雷尼紹光纖傳導系統(tǒng)的性能和易用性與特定于應用的光學鏡組配置相結合。
RLD包含多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡，因此輕松成為專業(yè)應用的理想選擇。
RLD10-XX發(fā)射頭只有0°型號。
自定義光學解決方案 — 由于不包含內置光學鏡，因此可配置RLD使用外部光學鏡以滿足一系列應用的要求。
校準測量 — 適合使用雷尼紹校準光學鏡組系列，從而實現(xiàn)直線度、角度和線性測量。
真空兼容 — 還與RVI20兼容，可進行兩個特征之間的相對測量。
| 平面鏡應用 | 角錐反射鏡應用 | |
| 軸行程 | 0 m至1 m | 0 m至4 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數(shù)字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm | 模擬正交 = λ/2 (316 nm) 數(shù)字正交 = 20 nm RPI20分辨率 = 77.2 pm |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm 1 m/s且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm | 低于100 mm/s且信號強度 > 70%時 <±5 nm 2 m/s且信號強度 > 50%時 <±13 nm |
| 最高速度 | 可達1 m/s | 可達2 m/s |
Renishaw雷尼紹無內置光學鏡干涉儀 RLD10-XX
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