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當(dāng)前位置：無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測(cè)試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題
半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室級(jí)變頻冷水機(jī)-高精度溫控系統(tǒng)
chiller變頻冷水機(jī)±1℃波動(dòng)滿足封裝需求
半導(dǎo)體行業(yè)變頻制冷機(jī)-50℃~200℃寬域溫控
半導(dǎo)體變頻水冷機(jī)±0.5℃滿足光刻工藝要求
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題
光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題
光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)已廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域，而光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)的常見問題主要是因?yàn)檎舭l(fā)溫度（蒸發(fā)器中制冷劑的飽和溫度）通常在-85℃至在85℃時(shí)，常規(guī)方法不能使用水作為制冷劑，因?yàn)橹评鋭┑臏囟鹊陀?/font>0℃，并且用于制冷劑熱交換的水的溫度很可能低于0℃。由于凍結(jié)，須在常規(guī)單元的制冷劑溶液中添加防凍劑以降低諸如乙二醇溶液之類的制冷劑溶液的凝固點(diǎn)。
但是，該方法存在許多問題：首先，使用和操作成本增加，并且乙二醇溶液易揮發(fā)。使用一段時(shí)間后，由于揮發(fā)濃度不夠，難以將水溫降低到使用所需的溫度，或者制冷劑溶液的揮發(fā)濃度降低，凝固點(diǎn)增加，并且結(jié)冰。在使用所需的溫度下發(fā)生，導(dǎo)致蒸發(fā)器的熱交換管凍結(jié)并破裂，從而導(dǎo)致故障；
其次，不允許某些用戶在制冷劑中添加防凍劑（例如乙二醇），例如：芯片工業(yè)，由于這些行業(yè)的使用量很高，一旦光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)制冷劑溶液滲透并泄漏到中，就會(huì)影響使用靠譜性，因此將被直接丟棄，從而導(dǎo)致廢品率提高，產(chǎn)量減少等問題。
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