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科氏力氣體質(zhì)量流量控制器
  • 科氏力氣體質(zhì)量流量控制器
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貨物所在地:江蘇無錫市

更新時間:2025-03-26 21:00:08

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科氏力氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

科氏力氣體質(zhì)量流量控制器概述:

◆管狀分流,不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預(yù)熱時間短,零漂小,可靠性高
◆數(shù)字量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量


基本原理為:一根兩端固定的薄壁測量管,在中點處以測量管諧振或接近諧振的頻率(或其高次諧波頻率)所激勵,此時,在管內(nèi)流動的流體產(chǎn)生科里奧利力,使測量管中點前后產(chǎn)生方向相反的撓曲,撓曲的大小與流體的質(zhì)量流量成正比。因此,用光學(xué)或電磁學(xué)的方法檢測測量管的撓曲量,就可以求得管內(nèi)流體的質(zhì)量流量。



應(yīng)用行業(yè)

玻璃行業(yè)太陽能大氣監(jiān)測工業(yè)制作石油石化
煤炭冶金制氣配氣環(huán)保各種儀器分析


科氏力氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù):

量程范圍100SCCM~30SLM
測控范圍量程比50:1
準確度±1.0%F.S
線性±0.5%F.S
重復(fù)精度±0.2%F.S
響應(yīng)時間<2s
數(shù)字量RS232/485,MODBUS協(xié)議
模擬量0~5V、4-20mA、1~5V
供電±15VDC,24VDC
工作溫度0~50℃
工作壓力工作壓差:0.05~0.5Mpa
最大耐壓3MPa/10MPa
電氣連接DB15孔
漏率1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)不銹鋼
密封材質(zhì)氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠
接頭φ3,φ6,1/8",1/4"



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