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無(wú)油干式機(jī)械真空泵的原理及簡(jiǎn)介
無(wú)油干式機(jī)械真空泵（深圳市德世力自動(dòng)化設(shè)備有限公司有售，簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能*解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。近年來(lái)，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開(kāi)發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類(lèi)泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級(jí)壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級(jí)壓縮比）。不同類(lèi)型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。
深圳市德世力自動(dòng)化設(shè)備有限公司主要經(jīng)營(yíng)美國(guó)ASCO，VICKERS,PARKER,意大利ATOS,德國(guó)REXROTH,HYDAC等進(jìn)口產(chǎn)品。常年備有大量庫(kù)存，及時(shí)出貨滿(mǎn)足新老客戶(hù)的需求。其中VICKERS產(chǎn)品有VICKERS柱塞泵、VICKERS葉片泵、VICKERS電磁閥、VICKERS油泵、VICKERS變量泵、VICKERS液壓馬達(dá)、VICKERS方向閥、VICKERS壓力閥、VICKERS流量閥、VICKERS比例閥、VICKERS定量泵、VICKERS馬達(dá)等。 VICKERS系列 葉片泵有V系列、V（Q）系列、柱塞泵有：PFB系列、PVB系列、PV/PF系列、TPV系列、PVH系列、PVH系列、PVQ系列等。我司始終堅(jiān)持以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展的方針不斷提升滿(mǎn)足客戶(hù)需求的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)。以求給客戶(hù)帶來(lái)更大的利益。由于產(chǎn)品種類(lèi)及型號(hào)繁多，無(wú)法一 一詳盡展示。詳細(xì)的產(chǎn)品信息請(qǐng)咨詢(xún)我司服務(wù)人員，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)，謝謝。
