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墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門(mén)和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。
多孔金屬限流過(guò)濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的多孔金屬限流過(guò)濾器
保護(hù)精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案：
1） 這款全金屬過(guò)濾器專(zhuān)為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可與 1/4“、3/8" 和 1/2“ VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口無(wú)縫兼容。
2） 墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門(mén)和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。
3） 多孔金屬墊片過(guò)濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。
4） 通過(guò)防止與污染相關(guān)的泄漏，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命并降低維護(hù)成本。
5） 該過(guò)濾器提供低壓和高壓兩種型號(hào)，可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中，為保護(hù)精密設(shè)備免受污染提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。
