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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
Filgen鋨等離子鍍膜儀是一種利用直流等離子體放電的負(fù)級(jí)輝光劉樣晶進(jìn)行鍍膜的等離子體CVD鍍膜機(jī)。傳統(tǒng)的金屬鍍膜設(shè)備，主要以重金屬為涂叢材料，如金、鉑、鈀等。采用這些方法，涂層本身的粒度問題無論如何都是不可避免的。同時(shí)，在高倍鏡下規(guī)察，這些方法所包覆的試樣無法避免SEM強(qiáng)電子?xùn)|照射引起的充電.熱損傷和污染，導(dǎo)致SEM圖像分辨率較低。
Filgen鋨等離子鍍膜儀優(yōu)點(diǎn)：
鋨薄膜
無晶粒:形成非晶態(tài)金屬鍍層
無熱損傷:涂層在室溫下進(jìn)行。
無電子束損傷:鋨的熔化溫度為2700C
無污染:涂層從真空狀態(tài)開始
等離子聚合薄膜
保膜耐FIB中使用的鎵離子束
耐熱絕緣薄膜
無晶粒形成非晶態(tài)金屬鍍層
無熱損傷:涂員在室溫下進(jìn)行
無電子束損傷
無污染：涂層從真空狀態(tài)開始
可用性
自動(dòng):設(shè)置完成后，按下開始按餓即可完成整個(gè)過程
直觀:涂層厚度是由厚度設(shè)置控制，而不是由放電時(shí)間鍍膜時(shí)間短:幾納米/幾秒
易更換操作系統(tǒng)：安瓿可拆卸儲(chǔ)液罐，觀察窗(用于檢查剩余操作系統(tǒng)數(shù)量)和儲(chǔ)液罐內(nèi)置安瓿切斷器
安全性
全自動(dòng)減少人為失誤的機(jī)會(huì)
Os儲(chǔ)層的安全特性:氣口-體鎖緊銷和內(nèi)置安瓿切斷器
帶反應(yīng)室的聯(lián)鎖系統(tǒng):除非0s04耗盡，否則不能打開反應(yīng)室，當(dāng)反應(yīng)室打開時(shí)不能引入Os04
故障安全，以防止操作系統(tǒng)泄漏在電源關(guān)閉
鋨吸收過濾器：不需要任何機(jī)器
