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產(chǎn)品簡介
3D光學(xué)干涉輪廓儀是利用光學(xué)原理開發(fā)的非接觸測量儀器，更能滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化測量的高精度、低成本和小型化需求。
詳細(xì)介紹
3D光學(xué)干涉輪廓儀是利用光學(xué)原理開發(fā)的非接觸測量儀器，更能滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化測量的高精度、低成本和小型化需求。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
3D光學(xué)干涉輪廓儀工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀優(yōu)勢
1、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件
2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌
3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)
4、Nikon干涉物鏡
5、NI信號控制板和Labview64控制軟件
6、TMC光學(xué)隔振臺
7、測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到高級水平(中國計量科學(xué)研究院證書)
