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當前位置：北京漢達森機械技術(shù)有限公司>>光學儀器>>光學實驗設(shè)備>> P-541.XCD德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
產(chǎn)品型號P-541.XCD
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地天津市
更新時間：2024-05-16 19:21:35瀏覽次數(shù)：1339次
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德國SPS旋涂機光學設(shè)備POLOS 450參數(shù)
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合 |
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術(shù)
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測量
計量
產(chǎn)品參數(shù)：
型號：P-541.ZCD
主動軸：Z
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復(fù)精度：<2納米
θX、θY向上的重復(fù)精度：–微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
產(chǎn)品參數(shù)：
型號：P-541.TCD
主動軸：Z,θX,θY
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.4毫弧度
Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.08微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復(fù)精度：<2納米
θX、θY向上的重復(fù)精度：0.01微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD
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