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詳細介紹
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。
- 高耐腐蝕性
對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。 - 高精度、高可靠性
直線性、滯后性、重復精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。 - 測定范圍寬
表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），絕對壓的壓力范圍為0～2,586torr。 - 使用壽命長
各測量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測試。
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
規(guī)格
| 型號 | 表壓※ | 絕對壓 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
| 壓力范圍 | KPa | 0～172.4 | 0～344.7 | 0～689.5 | 0～1,378.9 | 0～3,447.3 | 0～20,684 | 0～103.4 | 0～172.4 | 0～344.7 |
| kgf/cm2 | 0～1.76 | 0～3.52 | 0～7.03 | 0～14.06 | 0～35.16 | 0～210.9 | - | - | - | |
| torr | - | - | - | - | - | - | 0～776 | 0～1,293 | 0～2,586 | |
| 精度（％ 全量程) | ±0.5％ | ±0.25％ | ±0.5％ | |||||||
※所有的表壓類型可以連成。
| 過載壓力 | 全量程×2 |
|---|---|
| 激勵電源電壓 | DC 5V(MAX 6V) |
| 保存溫度范圍 | -20℃～93℃（未通電） |
| 溫度補償范圍 | -1℃～71℃ |
| 溫度漂移 | ±0.05% FS/℃ |
| 信號輸出 | 100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V) |
| 跨度 | 100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV |
| 偏移量 | 0mV ± 10mV |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec |
| 氣體（液體）接觸部分 | 哈司特鎳合金® |
| 連接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
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