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詳細(xì)介紹
美國派克parker不銹鋼止回閥超高壓不銹鋼止回F9 系列是一種高純度的產(chǎn)品，所有焊接止回閥提供高CV 0.90，占地面積小，以節(jié)省所需的面板空間。 F9適合半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用，閥管線箱/多處理器，氣柜制造商。
parker電磁閥部門的F9系列超高壓止回閥提供改進(jìn)的性能和兼容性，具有zhuang利的非對稱彈簧設(shè)計一直安靜的操作和低流量的限制與競爭。F9兩密封材料滿足所有半氣體相容性的要求，降低客戶庫存，滿足更廣泛的應(yīng)用。組裝和封裝在一個類100級潔凈室，F(xiàn)9系列產(chǎn)品是為超高純度半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用設(shè)計的。
美國派克parker不銹鋼止回閥市場半導(dǎo)體晶圓廠天然氣公司特點(diǎn)/好處：
無噪音操作與zhuang利的非對稱彈簧設(shè)計
焊接設(shè)計減少足跡
100級潔凈室組裝和包裝
電解拋光（EP）的超高純度應(yīng)用版本
vericlean™ 316L不銹鋼電解拋光和腐蝕性能提高
美國派克PARKER閥應(yīng)用閥門歧管箱/板煤氣柜氣棒工具掛鉤
| 閥體材料 | 非常清潔的316L不銹鋼材質(zhì) |
彈簧材料 | 非磁性合金，當(dāng)量 |
密封材料 | 氟碳彈性體（氟橡膠） 全氟彈性體（全氟橡膠） |
閥芯材料 | 316L 不銹鋼 |
閥座材料 | 316 不銹鋼 |
流速 | Cv: 0.45 (X 0.89) (1/4" Tube Stub) - 0.90 (X 0.78) (1/4" & 1/2" Face Seal) - 0.90 (X 0.78) (3/8" & 1/2" Tube Stub) |
內(nèi)部泄漏率 | 氣密 |
外部泄漏率 | 外部泄漏率為 1 x 10-9 scc/sec（內(nèi)側(cè)的試驗(yàn)方法） |
表面處理 | 省略（10 RA鈍化（STD），黃金標(biāo)簽（EP）7 RA的電解拋光，藍(lán)色的標(biāo)簽） |
體積 | 0.14 inch3 / 2.29 cm3 (1/4" Face Seal Male) |
重量 | 0.15（1/4"面密封（外））-0.07（1/4"短管） lb |
| 2.4（1/4"面密封（外））-1.2（1/4"短管） oz | |
大入口額定壓力 | Fluorocarbon Elastomer, FKM: 3000 | Perfluoroelastomer, FFKM: 1000 psig |
| 260公斤（氟碳，氟橡膠）-68公斤（ 全氟彈性體 ，全氟橡膠） barg | |
大背壓 | 3,000 (Fluorocarbon Elastomer, FKM); 1,000 (Perfluoroelastomer, FFKM) psig |
| 260公斤（氟碳，氟橡膠）-68公斤（ 全氟彈性體 ，全氟橡膠） barg | |
開啟壓力 | 0.13 bar |
| 2 psi | |
重設(shè)壓力 | ≤ 2 |
| psig | |
| ≤ 0.13 | |
| barg | |
zui高運(yùn)行溫度 | 66 °C |
| 150 °F | |
低運(yùn)行溫度 | -23 °C |
| -10 °F |
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