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天津諾雷信達(dá)科技有限公司>>四探針半導(dǎo)體材料測試儀>>RTS-4/5/8/9四探針薄膜電阻率測試儀

四探針薄膜電阻率測試儀

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 RTS-4/5/8/9
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 天津市

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更新時間:2025-01-22 20:25:38瀏覽次數(shù):3447

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,印刷包裝,綜合 自動化度 半自動
RTS-4/5/8/9四探針薄膜電阻率測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。

詳細(xì)介紹

RTS-4/5/8/9四探針薄膜電阻率測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

RTS-4/5/8/9四探針薄膜電阻率測試儀

RTS-4四探針測試儀技術(shù)指標(biāo) 

測量范圍

電阻率:0.00012000Ω.cm(可擴(kuò)展);  
方塊電阻:0.00120000Ω/□(可擴(kuò)展); 
電導(dǎo)率:0.000510000s/cm; 
電阻:0.00012000Ω;

可測晶片直徑

 140mmX150mm(S-2A型測試臺)
 200mmX200mm(S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(S-2C型測試臺);

恒流源電流量程分為0.1mA1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 分辨力:10μV
 輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)  間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
機(jī)械游移率:≤0.3%
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
JJG508-87進(jìn)行)  0.1Ω、、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1

整機(jī)測量大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  ≤5%

軟件功能(選配)軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;

RTS-8四探針測試儀技術(shù)指標(biāo) 

電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:10-5~105  s/cm;

電阻:10-5~105  Ω;

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);

400mmX500mm(配S-2C型測試臺);

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)針:

間絕緣電阻:≥1000MΩ;

機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

測試模式:可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能(選配)軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。

RTS-9四探針測試儀技術(shù)指標(biāo) 

電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:10-5~105  s/cm;

電阻:10-5~105  Ω;

可測晶片厚度≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(S-2A型測試臺);
200mmX200mm(S-2B型測試臺);
400mmX500mm(S-2C型測試臺)

恒流源電 流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表  量程及表示形式:000.00199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)  間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
機(jī)械游移率:≤0.3%
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:516 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω0.1Ω、10Ω、100Ω1000Ω、10000Ω≤0.3%±1

整機(jī)測量大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  ≤4%

測試標(biāo)準(zhǔn)采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),通過RTS-9雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),兩套軟件可同時使用。

軟件功能軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口并口,高速并行采集數(shù)據(jù)。

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