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數(shù)字化智能四探針測(cè)試儀的研制
閱讀：280 發(fā)布時(shí)間：2020-2-3| 提 供 商 | 天津諾雷信達(dá)科技有限公司 | 資料大小 | 34.5KB |
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摘要：將傳統(tǒng)直流四探針測(cè)試儀與嵌入式系統(tǒng)相結(jié)合，研制出數(shù)字化智能四探針測(cè)試儀。該儀器可以自動(dòng)識(shí)別被測(cè)樣品電阻率，并自動(dòng)切換到很好檔位，操作簡(jiǎn)便工作效率高,具有一定的實(shí)用和開發(fā)價(jià)值。
1 引言
直流四探針測(cè)試法是微電子行業(yè)常用的測(cè)量材料電阻率的方法，通過(guò)測(cè)量材料的電阻率可以得到材料的摻雜濃度等重要信息。因此，在微電子工業(yè)中四探針測(cè)試儀一直是十分重要的測(cè)量?jī)x器。
近年來(lái)，微電子工業(yè)在中國(guó)大陸發(fā)展迅速，傳統(tǒng)的數(shù)字式直流四探針測(cè)試儀需要手動(dòng)調(diào)節(jié)檔位，測(cè)量周期長(zhǎng)、工作效率低，已經(jīng)無(wú)法適應(yīng)時(shí)代發(fā)展，國(guó)內(nèi)需要尋求一種新型的測(cè)試設(shè)備。
本文中介紹的數(shù)字化智能四探針測(cè)試儀可以自動(dòng)切換量程、自動(dòng)運(yùn)算相關(guān)的數(shù)據(jù)。用戶甚至可以在不了解四探針測(cè)試原理的情況下方便地測(cè)量材料的電阻率。該儀器具有PC機(jī)接口，通過(guò)PC機(jī)可以集中管理且硬件成本低廉。