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機(jī)臺(tái)名稱：真空等離子清洗機(jī)
機(jī)臺(tái)型號(hào)：OKSUN-PR24L/40L
整機(jī)規(guī)格：PR24L :650（W）×1240（H）×580（D）mm
PR40L: 750（W）×550（H）×650（D）mm
電極規(guī)格：PR24L，6層平板式電極板（ 240（W）×270（D）mm）
PR40L，8平板式電極板（330（W）×315（D）
用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機(jī)制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù)
1、機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格
750(W)×550(H)×650(D)mm
2、真空室規(guī)格
進(jìn)口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm
3、電極板規(guī)格
鋁電極 330(W)×315(D)mm
4、真空電極結(jié)構(gòu)
水平電極板 6層
5、真空泵系統(tǒng)
OKSUN機(jī)械旋片真空泵/愛(ài)德華干式真空泵
6、PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)硬件
工控可編程控制器及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換）德國(guó)西門子
7、人機(jī)工控系統(tǒng)
觸摸屏式全中文界面MCGS
8、PLC及人機(jī)工程軟件
奧坤鑫科技自主研發(fā)
9、真空測(cè)定系統(tǒng)
皮拉尼電阻式真空計(jì)，日本愛(ài)發(fā)科
10、真空供氣系統(tǒng)
Ф6品牌軟管，國(guó)產(chǎn)品牌
11、真空排氣系統(tǒng)
全不銹鋼管路+波紋管，國(guó)產(chǎn)
12破真空系統(tǒng)
電磁閥式，日本
13、氣體控制系統(tǒng)
電磁閥控制，日本
14、氣體計(jì)量系統(tǒng)
精確質(zhì)量流量控制計(jì)：MFC，SevenStar
15、等離子發(fā)生器
0-500w連續(xù)可調(diào)（13.56MHz）、OKSUN
16、其他組件
國(guó)內(nèi)外元器件
1、機(jī)臺(tái)總重
約40kg
2、額定功率
額定功率 1KW
3、機(jī)臺(tái)供電
AC-380V
4、腔體容積
進(jìn)口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm
5、電極板數(shù)量
水平電極6層
6、單層處理大面積
330(W)×315(D)mm
7、單次處理時(shí)間
工藝不同，處理時(shí)間不同,表面活化改性5-10分鐘內(nèi)
8、工作真空度
20-50Pa
9、真空泵極限壓力
5.0X10-1Pa
10、抽真空時(shí)間
≤60秒（空載測(cè)試）
11、破真空時(shí)間
＜40秒（空載測(cè)試）
12、等離子發(fā)生器功率
0-500W, 全自動(dòng)匹配
13、供氣方式
電磁閥式
14、流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍
0-300sccm（毫升/分鐘）
15、操作方式
人工取放工件，一鍵啟動(dòng)自動(dòng)控制