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KOSAKA LAB ET4000A 微細(xì)形狀測定機(jī)（探針接觸式臺階儀）株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，為日本發(fā)表表面粗糙度計(jì)的廠商，公司具有悠久歷史與專業(yè)的技術(shù)背景。公司主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。探針接觸式微細(xì)形狀測定機(jī)（表面輪廓臺階儀）特點(diǎn)： l 臺階再現(xiàn)性與線性度。 l 超高直線度保證，可確保量測圖形不受移動軸影響，并可在保證直線度的前提下長距離量測，同時解析表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力等。 l 采用超低噪音直動式傳感器 LVDT（差動變壓器），超低測定力的觸針可對應(yīng)各類型樣品表面。 l 配備高分辨率的 CCD 即時進(jìn)行高精度定位測量，實(shí)時觀測測量過程。 l 中文化軟件除臺階分析外并具有粗糙度解析功能，可對應(yīng)各種規(guī)范，測定參數(shù)多達(dá) 60 多種。 l 適用于各種與微米、納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等的膜厚、臺階、段差測量。技術(shù)參數(shù)：一、測定工件： 1. 工作臺尺寸 220mm×220mm 2. 大工件尺寸 210mm×210mm 3. 大工件厚度 50mm 4. 大工件重量 2kg 二、檢出器（pick up）： 1. Z 方向測定范圍 Max. 100µm 2. Z 方向分解能 0.1nm 3. 測定力 0.5uN ~500uN(0.05mgf~50mgf) 4. 觸針材質(zhì)、半徑、夾角 鉆石、0.5 , 2 µm、60%夾角 5. 驅(qū)動方式 直動式 6. 再現(xiàn)性 1σ= 0.5nm(全量程)、1um 以下臺階重現(xiàn)性可達(dá) 0.2nm 以下三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)： 1. 移動量(大測長) 100mm 2. 移動的真直度 0.005µm/5mm 3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S 4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S 5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01µm 6. 位置定位再現(xiàn)性 ± 5µm 四、Y 軸(位置決定用)： 1. 移動量 52mm 2. 移動速度 max.3mm/S 3. 檢出器自動停止機(jī)能六、工件臺： 1. 工件臺尺寸 220mm×220mm 2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/150m 七、全自動量測功能八、工件觀察裝置 max. 80 倍(可選購其它高倍率 CCD) 九、床臺 材質(zhì)為花崗巖石十、防振臺(選購) 落地型或桌上型十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA 十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺) 十三、本體重量 一體花崗巖結(jié)構(gòu)約 220Kg(不含防震臺及解析部份)