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測量原理測量基準

海德漢公司的光學掃描光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。

• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 µm

• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20 µm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 µm）

• SUPRADUR相位光柵：光學三維平面格柵線條；*抗污能力；典型柵距不超過8 µm

• OPTODUR相位光柵：光學三維平面格柵線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

測量法

測量法是指編碼器通電時就立即提供位置值并隨時供后續(xù)信號處理電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。絕對位置信息來自光柵碼盤，它由一系列絕對碼組成。單獨的增量刻軌信號用于在細分后得到位置值，同時也生成供選用的增量信號（與接口類型有關(guān)）。

增量測量法

增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計算自某個設(shè)置的原點開始的增量數(shù)（測量步距數(shù)）獲得。由于必須用參考點確定位置值，因此測量基準的光柵尺上還刻有一個參考點軌。參考點確定的光柵尺帶的位置值可以精確到一個信號周期。因此，必須通過掃描參考點建立基準點或確定上次選擇的原點。差情況時，機床需要移動測量范圍上的較大部分。為加快和簡化“參考點回零” 操作，許多海德漢光柵尺刻有距離編碼參考點，這些參考點彼此相距數(shù)學算法確定的距離。移過兩個相鄰參考點后（一般只需運動數(shù)毫米）（見下表），后續(xù)電子電路就能找到參考點位置。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm

LIP 211，LIP 281，LIP 291 增量式直線光柵尺，精度高和重復精度高