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當前位置：上海韜世實業(yè)發(fā)展有限公司>>德國 海德漢HEIDENHAIN>>直線光柵尺>> LIP 372/LIP 382heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號LIP 372/LIP 382
品 牌HEIDENHAIN/德國海德漢
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地上海市
更新時間：2024-11-20 17:18:44瀏覽次數(shù)：1353次
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直線光柵尺測量直線軸位置，測量期間沒 有任何其它機械傳動件。因此，它能消除 以下潛在誤差源： • 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差
• 反向誤差 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運動特性誤差 因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加 工機床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段。 敞開式直線光柵尺設(shè)計用于超高測量精度 的機器和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括：
• 半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
• PCB電路板組裝機
• 超精密機床，例如加工光學(xué)器件的金剛 石刀具，加工磁盤的端面車床和加工鐵 氧體元件的磨床
• 高精度機床
• 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精 密測量設(shè)備
• 直驅(qū)電機 機械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 帶和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無機械接 觸。 敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 面上。因此，安裝面的平面度是高精度直 線光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件。
測量原理 測量基準
海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的 測量基準都是周期刻線－光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長 度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。 海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝 制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條， 典型柵距40 µm • METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線， 典型柵距20 µm
• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵 距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵 （典型柵距8 µm）
• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵線條；*抗污能力；典型柵距不超 過8 µm
• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵 線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵 外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均 勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰 的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的精密 刻線機制造。
heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm
LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺
• 測量步距達0.001 µm（1 nm）
• 測量基準用螺栓固定
如有需要詳情，請見：heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm
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