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ESS-6002 半導體器件靜電放電模擬器
針對于半導體器件設(shè)計的靜電放電模擬器，電壓大2000V測試電壓，小電壓輸出10V，可應(yīng)用于企業(yè)的研發(fā)和品質(zhì)上，適用于敏感產(chǎn)品的評價試驗。
符合標準
人體模型試驗 (HBM) | 機械模型試驗 (MM) |
AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003 | AEC-Q100-003-REV -E Jul.2003 |
ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001 | ESDA ANSI/ ESD STM5.2-1999 |
IEC61340-3-1Ed.1.0 2002 | IEC61340-3-2 Ed.1.0-2002 |
IEC60749-26 Ed.1.0 2003 | IEC60749-27 Ed.1.0 2003 |
JEDEC JESD22- A114E Jan.2007 | JEDEC JESD22- A115A Oct.1997 |
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304 | JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 |
MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989 |
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ESS-6002 半導體器件靜電放電模擬器特點
模擬器小輸出電壓可達±10V，1V步進設(shè)定，較適合用于敏感元件的評價試驗。
模擬器通過簡易放電板，使用IC放電夾可直接對被試品進行放電，也可使用半自動精密型探針臺，半自動化的對被試品進行定量的放電
該模擬器可模擬人體放電（HBM）和機械放電（MM）
模擬器能在端口間正確地施加相對應(yīng)標準波形
通過檢測主端口，可確認放電后被試品的特性變化
用選件可設(shè)定高速上升時間。（選件）
可對于各種間距針腳進行測試
進行機械模式試驗時使用半自動精密型探針臺可做更小間距的元器件腳針之間的測試
ESS-6002半導體器件靜電放電模擬器規(guī)格：
項目 | 功能/性能 |
輸出電壓 | 10～2000±10%（ESS-6002） 1V步進 |
輸出極性 | 正或負 |
重復周期 | 0.3～99s±10% 到10s為止0.1s步進 10s以后1s步進 |
放電次數(shù) | 1～99次/連續(xù) |
外部觸發(fā)輸入 | 大±15V，BNC接口 通過TTL下降時間來控制（100us以上的LOW或者端口間短路） |
觸發(fā)輸出 | 輸出阻抗50Ω，TTL高脈沖5ms，BNC接頭 |
ITERLOCK | 端口臺、端口間開路時停止試驗（出貨時標配短路棒） |
驅(qū)動電源 | AC100～240V±10% 50Hz/60Hz |
功耗 | 25VA |
使用溫度范圍 | 15～35℃ |
保管溫度范圍 | -10～50℃ |
使用濕度范圍 | 25～75%RH（不結(jié)霜） |
保管濕度方位 | 0～85%RH（不結(jié)霜） |
尺寸 | （W）340×(H)×199×（D）300mm（不含突起部分） |
重量 | 約6kg |
附件：
商品名稱 | 數(shù)量 |
人體模型（HBM）放電探針（型號 01-00054A） | 1個 |
機械模型（MM）放電探針（型號 01-00055A） | 1個 |
電源線 | 1根 |
操作說明書 | 1份 |
對于半導體試驗推薦配置：
名稱 | 型號 | 描述 |
半導體器件靜電放電模擬器 | ESS-6002 | 半導體放電主機 |
2.54mm pitch型放電夾 | 08-00013A | 夾持端口和放電的夾子 （選件） |
簡易型探針臺 | 18-00075A | 放置或固定半導體的裝置 （選件） |
半自動精密型探針臺 | 18-00076A | 半自動化試驗使用的探針臺 （選件） |
波形調(diào)整用卡4張 | 06-00064A | 改變波形上升時間和周期的卡 （選件） |
機械模式（MM）探針 01-00055A
項目 | 規(guī)格 |
使用溫度/濕度范圍 | 15～35℃/25～75%RH（不結(jié)霜） |
尺寸/重量 | （W）50×(H)242×（D）54mm（不含突起部分）/約760g |
CR | C:200pF±10%，R：0Ω |
短路時輸出波形：
電壓 | *次峰值電流 | 第二次峰值電流 | 周期 | 振鈴波 |
100V | 1.75A±10% | Min : 67% of Ip 1 Min : 66ns | ≤30% of Ip 1 | |
200V | Min : 3.5A -10% | |||
400V | 7.0A±10% | |||
800V | 14A±10% | |||
500Ω負載時輸出波形（500Ω±1%）
電壓 | 峰值電流 | 100ns時的電流 | 200ns時的電流 |
| lpr | l100nx | I 200ns |
100V | — | — | — |
200V | — | — | — |
400V | Min : 0.85A Max : 1.1745A | 0.29A±10% | Min : 35% of 100ns Max : 45% of 100ns |
800V | — | — | — |
* 輸出電壓根據(jù)主機（ESS-6002）而定
HBM探針
人體模式（HBM）探針 01-00054A
項目 | 規(guī)格 |
使用溫度/濕度范圍 | 15～35℃/25～75%RH（不結(jié)霜） |
尺寸/重量 | （W）50×(H)（242）×（D）54mm（不含突起部分）/約760g |
CR | C:100pF±10%，R：1,5kΩ±1% |
短路時輸出波形：
電壓 | 峰值電流 | 上升時間 | 下降時間 | 振鈴波 |
250V | 0.17A±10% | Min:2ns Min;1.3ns | <15% of Ips | |
500V | 0.33A±10% | |||
1000V | 0.67A±10% | |||
2000V | 1.33A±10% | |||
500Ω負載時輸出波形（500Ω±1%）
電壓 | 峰值電流 Ipr | lpr/lps | 上升時間 Trs | 下降時間Tdr Tds | 振鈴波 Irs |
250V | — | — | — | — | — |
500V | min:60% of Ips | ≥63% | 5～25ns | 200ns±40ns | ≤15% |
1000V | min:60% of Ips | ≥63% | 5～25ns | 200ns±40ns | ≤15% |
2000V | min:60% of Ips | ≥63% | 5～25ns | 200ns±40ns | ≤15% |
* 輸出電壓根據(jù)主機（ESS-6002）而定
MM探針
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