1.在z軸上可機動化的移動50mm并且在X和Y軸上可移動130mm
2.通用圖像處理
3.用X射線分析改進(jìn)了LaB6成像質(zhì)量
4.支持兩個空間的范圍

環(huán)境要求：

掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。一般情況下，環(huán)境溫度需控制在22～25℃，相對濕度以小于70%為宜，保證實驗室清潔整齊，避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機，特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高，對震動和磁場強度的要求也較高，所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾。一般在安裝時，建議將電鏡放置在樓體一層，遠(yuǎn)離輸電線路、大功率設(shè)備等，并做防震地基和獨立地線設(shè)置。電鏡地線要求必須是獨立地線，即接地體到接線端子均獨立，避免地線連接到公共接地體。在使用過程中，若周圍有雜散磁場，在大倍數(shù)觀察時圖像會出現(xiàn)縱或橫條紋干擾。總之，日常使用過程中要嚴(yán)格控制電鏡的環(huán)境條件。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例，環(huán)境條件要求如下：溫度保持在21～25℃，相對濕度小于65%，磁場強度小于3×10－7T，噪聲強度小于65dB，獨立地線的接地電阻小于0.1Ω。

檢查真空系統(tǒng)：

電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵、管道、和真空測量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞，增加燈絲壽命，所以必須高度關(guān)注真空系統(tǒng)，定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值，或是打開真空監(jiān)控器（Gun　Monitor）實時監(jiān)控真空值。對于ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡，需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常狀態(tài)需進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng)，如檢查各真空系統(tǒng)部件或進(jìn)行烘烤操作，具體方法如下：

（1）觀察真空裝置的啟動順序及啟動時間。ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡真空的啟動順序為機械泵、潘寧規(guī)、離子泵。一般換試樣抽真空時間為3min。如時間過長，需檢查真空裝置是否為異常啟動情況。

（2）判斷分子泵前級泵的工作狀態(tài)。定期查看分子泵的功率狀態(tài)，操作方法為：打開分子泵控制器，查看分子泵功率，若小于10W，則分子泵前級泵（機械干泵）無過多附加阻力，為正常狀態(tài)；否則，說明前級泵存在過多負(fù)載。

（3）機械干泵的維護(hù)。機械干泵中密封圈為易耗品，隨著機械摩擦?xí)r間的增加，密封圈變小，給分子泵帶來過多負(fù)載，抽真空時間變長。一般情況下，機械干泵的維護(hù)需在1～2a（年）內(nèi)進(jìn)行，即更換密封圈。

（4）若以上問題均可排除，則可考慮進(jìn)行烘烤操作，以提高真空度。